Вышедшие номера
Перспективы применения реактивного ионно-пучкового травления плавленого кварца смесью тетрафторметана и аргона для асферизации поверхности оптических элементов
Михайленко М.С.1, Пестов А.Е.1, Чернышев А.К.1, Перекалов А.А.1, Зорина М.В.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: mikhaylenko@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 26 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 26 апреля 2022 г.
Принята к печати: 26 апреля 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.

Предложено использовать энергию разряда для синтеза химически-активных частиц с целью проведения коррекции формы и асферизации поверхности оптических элементов реактивным ионно-пучковым травлением. Собран стенд на основе радиочастотного источника ускоренных ионов КЛАН-105М, конструкция которого позволила работать с химически активными газами. Показана возможность увеличения скорости травления плавленого кварца более чем в 5 раз по сравнению с ионным травлением инертными газами путем создания смеси тетрафторметана (CF4) и аргона (Ar) в соотношении 1:1, при сохранении исходно гладкой шероховатости поверхности (sigmaeff~0.3 nm) в диапазоне пространственных частот ν[5.0·10-2-6.4·101 μm-1]. Ключевые слова: ионное травление, реактивное ионное травления, шероховатость, поверхность, рентгеновская оптика.