Вышедшие номера
Многослойные зеркала Cr/Sc с улучшенным отражением для диапазона "окна прозрачности воды"
Переводная версия: 10.1134/S1063784220110225
Полковников В.Н.1, Гарахин С.А.1, Квашенников Д.C.1, Малышев И.В.1, Салащенко Н.Н.1, Свечников М.В.1, Смертин Р.М.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: polkovnikov@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 22 апреля 2020 г.
В окончательной редакции: 22 апреля 2020 г.
Принята к печати: 22 апреля 2020 г.
Выставление онлайн: 15 июля 2020 г.

Изучены свойства многослойных зеркал Cr/Sc, синтезированных при пониженном значении электрической мощности на магнетронном разряде. Найдены модельные структурные параметры таких зеркал. Получен рекордный коэффициент отражения 21% на длине волны 3.12 nm. Ключевые слова: микроскопия, "водное окно", многослойные зеркала, рентгеновское излучение, магнетронное напыление.