Вышедшие номера
Микроструктура переходных границ в многослойных Мо/Ве-системах
Смертин Р.М. 1, Полковников В.Н.1, Салащенко Н.Н.1, Чхало Н.И.1, Юнин П.А.1, Тригуб А.Л.2
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
Email: smertin_ruslan@ipmras.ru, polkovnikov@ipmras.ru, salashch@ipmras.ru, chkhalo@ipm.sci-nnov.ru, yunin@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 22 апреля 2020 г.
В окончательной редакции: 22 апреля 2020 г.
Принята к печати: 22 апреля 2020 г.
Выставление онлайн: 15 июля 2020 г.

Методами рентгеновской рефлекто- и дифрактометрии и EXAFS-спектроскопии исследована микроструктура Мо/Ве многослойных периодических систем. Установлено, что в Мо/Ве-системе на границах образуются перемешанные зоны разного состава. На границе Мо-на-Ве --- перемешанная зона, схожая по составу с МоВе22, а на границе Ве-на-Мо --- с МоВе2. В результате термического отжига в течение 1 h структура переходных границ в многослойной системе остается стабильной. При дальнейшем отжиге происходят диффузионные процессы, которые приводят к образованию другого соединения на границе раздела --- МоВе2 вместо МоВе22, однако период структуры при этом остается неизменным. Такое поведение объясняет рост коэффициента отражения Мо/Ве-зеркал после отжига в течение 1 h и дальнейшее падение коэффициента отражения при большем времени отжига. Ключевые слова: многослойные зеркала, EXAFS-спектроскопия, межслоевые области, термическая стабильность, рентгеновское излучение.
  1. Montcalm C., Bajt S., Mirkarimi P.B., Spiller E.A., Weber F.J., Folta J.A. // Proceedings. 1998. Vol. 3331. P. 42
  2. Skulina K.M., Alford C.S., Bionta R.M., Makowiecki D.M., Gullikson E.M., Soufli R., Kortright J.B., Underwood J.H. // Appl. Opt. 1995. Vol. 34. P. 3727--3730
  3. Mirkarimi P.B., Bajt S., Wall M.A. // Appl. Opt. 2000. Vol. 39. P. 1617--1625
  4. Singh M., Braat J.J.M. // Appl. Opt. 2000. Vol. 39. P. 2189--2197
  5. Mirkarimi P.B. // Opt. Eng. 1999. Vol. 38. N 7. P. 1246--1259
  6. Bajt S. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2000. Vol. 18. N 2. P. 557--559
  7. Wu B., Kumar A. // Appl. Phys. Rev. 1. 2014. P. 011104
  8. Chkhalo N.I., Salashchenko N.N. // AIP Advances. 2013. Vol. 3. P. 082130-1
  9. Вайнер Ю.А., Гарахин С.А., Зуев С.Ю., Нечай А.Н., Плешков Р.С., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Свечников М.В., Сертсу М.Г., Смертин Р.М., Соколов А., Чхало Н.И., Шаферс Ф. // УФН. 2020. Т. 190. С. 92--106
  10. Svechnikov M.V., Chkhalo N.I., Gusev S.A., Nechay A.N., Pariev D.E., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Tatarskiy D.A., Salashchenko N.N., Schafers F., Sertsu M.G., Sokolov A., Vainer Y.A., Zorina M.V. // Opt. Express. 2018. Vol. 26. N 26. P. 33718--33731
  11. Chkhalo N., Gusev S., Nechay A., Pariev D., Polkovnikov V., Salashchenko N., Schafers F., Serts M., Sokolov A., Svechnikov M., Tatarsky D. // Opt. Lett. 2017. Vol. 42. N 24. P. 5070--5073
  12. Nechay A.N., Chkhalo N.I., Drozdov M.N., Garakhin S.A., Pariev D.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Svechnikov M.V., Vainer Yu.A., Meltchakov E., Delmotte F. // AIP Advances. 2018. Vol. 8. P. 075202
  13. Смертин Р.М., Гарахин С.А., Зуев C.Ю., Нечай А.Н., Полковников Н.В., Салащенко Н.Н., Свечников М.В., Sertsu M.G., Sokolov A., Чхало Н.И., Schafers F., Юнин П.А. // ЖТФ. 2019. Т. 89. Bып. 11. С. 1783--1788
  14. Slaughter J.M., Kearney P.A., Schulze D.W., Falco C.M., Hills C.R., Saloman E.B., Watts R.N. // Proceedings. SPIE. 1991. Vol. 1343. P. 73--82
  15. Rosen R.S., Stearns D.G., Viliardos M.A., Kassner M.E., Vernon S.P., Cheng Y. // Appl. Opt. 1993. Vol. 32. N 34. P. 6975--6980
  16. Braun S., Mai H., Moss M., Scholz R., Leson A. // Jpn. J. Appl. Phys. 2002. Vol. 41. Pt 1. N 6B. P. 4074--4081
  17. Sakhonenkov S.S., Filatova E.O., Gaisin A.U., Kasatikov S.A., Konashuk A.S., Pleshkov R.S., Chkhalo N.I. // Phys. Chem. Chem. Phys. 2019. Vol. 21. P. 25002--5010
  18. Kasatikov S.A., Filatova E.O., Sakhonenkov S.S., Gaisin A.U., Polkovnikov V.N., Smertin R.M. // J. Phys. Chem. C. 2019. Vol. 123. N 42. P. 25747--25755
  19. Самсонов Г.В. // Бериллиды. 1996. C. 45--47
  20. Лякишев Н.П. // Диаграммы состояния двойных металлических систем. 1996. Т. 1. С. 587--589
  21. Svechnikov M., Pariev D., Nechay A., Salashchenko N., Chkhalo N., Vainer Y., Gaman D. // J. Appl. Cryst. 2017. Vol. 50. P. 1428--1440
  22. Chernyshov A.A., Veligzhanin A.A., Zubavichus Y.V. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2009. Vol. 603. N 1--2. P. 95-98
  23. Электронный ресурс. Режим доступа. http://kcsni.nrcki.ru/ pages/main/sync/beamlines/stm/index.shtml
  24. Ravel B., Newville M. // J. Synchr. Rad. 2005. Vol. 12. P. 537--541
  25. Zabinsky S.I., Rehr J.J., Ankudinov A., Albers R.C., Eller M.J. // Phys. Rev. 1995. Vol. 52. N 4. P. 2995--3009
  26. Joly Y. // Phys. Rev. 2001. Vol. 63. N 12. P. 125120--125129
  27. Guda S.A., Guda A.A., Soldatov M.A., Lomachenko K.A., Bugaev A.L., Lamberti C., Gawelda W., Bressler C., Smolentsev G., Soldatov A.V., Joly Y. // J. Chem. Theory Comp. 2015. Vol. 11. N 9. P. 4512--4521
  28. Hedin L., Lundqvist B.I. // J. Phys. C. 1971. Vol. 4. N 14
  29. Gates-Rector S., Blanton T. // Powder Diffr. 2019. Vol. 34. N 4. P. 352--360
  30. Bunvau O., Joly Y. // J. Phys. Cond. Mat. 2009. Vol. 21. N 34. P. 345501.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.