Эмиссионные свойства лазерной плазмы при ее возбуждении на молекулярно-кластерных струях углекислоты
Российский научный фонд, РНФ 17 - 12 – 01227
Нечай А.Н.1, Перекалов А.А.1,2, Чхало Н.И.1, Салащенко Н.Н.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: nechay@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 28 марта 2019 г.
В окончательной редакции: 28 марта 2019 г.
Принята к печати: 15 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2019 г.
Приведены результаты исследований газоструйного лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения на базе конического сверхзвукового сопла. В качестве мишени использовались молекулярно-кластерные струи CO2. Изменением параметров газа на входе в сопло были получены различные режимы истечения газа, изучено влияние данных режимов на эмиссионные и технические характеристики источника излучения. Экспериментально показано увеличение эмиссии излучения при увеличении количества кластеризованного вещества в струе. Ключевые слова: кластеры, лазерно-плазменный источник излучения, лазерная искра, экстремальное ультрафиолетовое излучение.
- Bakshi V. EUV sources for lithography. Bellingham, Washington: SPIE press, 2006. Vol. 149
- Saalmann U., Siedschlag C., Rost J.M. // J. Phys. B: Atomic, Molecular and Optical Physics. 2006. Vol. 39. N 4. P. R39
- Крайнов В.П., Смирнов Б.М., Смирнов М.Б. // УФН. 2007. Т. 177. N 9. С. 953--981
- Taguchi T., Antonsen Jr T.M., Milchberg H.M. // Phys. Rev. Lett. 2004. Vol. 92. N 20. P. 205003
- Смирнов Б.М. // УФН. 1997. Т. 167. N 11. С. 1169--1200
- Faenov A.Y., Magunov A.I., Pikuz T.A., Skobelev I.Y., Blasco F. // AIP Conference Proceedings. AIP, 2003. Vol. 652. N 1. P. 404--414
- Parra E., Alexeev I., Fan J., Kim K.Y., McNaught S.J., Milchberg H.M. // Phys. Rev. E. 2000. Vol. 62. N 5. P. R5931
- Pikuz T.A. Faenov A.Y., Skobelev I.Y., Gasilov S.V., Boldarev A.S., Gasilov V.A., Homma T. // J. Physics: Conference Series. IOP Publishing, 2009. Vol. 163. N 1. P. 012106
- Фаенов А.Я., Пикуз Т.А., Скобелев И.Ю., Магунов А.И., Ефремов В.П., Серво М., Франкуччи М. // Письма в ЖЭТФ. 2004. Т. 80. N 12. С. 860--864
- Chkhalo N.I., Garakhin S.A., Lopatin A.Y., Nechay A.N., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Zuev S.Y. // AIP Advances. 2018. Vol. 8. N 10. P. 105003
- Крайнов В.П., Смирнов М.Б. // УФН. 2000. Т. 170. N 9. С. 969--990
- Hagena O.F. // Surf. Sci. 1981. Vol. 106. N 1. P. 101--110
- Hagena O.F., Obert W. // J. Chem. Phys. 1972. Vol. 56. N 5. P. 1793--1802
- Smith R.A., Ditmire T., Tisch J.W.G. // Rev. Sci. Instrum. 1998. Vol. 69. N 11. P. 3798--3804
- Данильченко А.Г., Коваленко С.И., Самоваров В.Н. // Письма в ЖТФ. 2008. Т. 34. Вып. 23. С. 87--94
- Kranzusch S., Mann K. // Opt. Сommun. 2001. Vol. 200. N 1--6. P. 223--230
- Bergmann K., Schriever G., Rosier O., Muller M., Neff W., Lebert R. // Appl. Opt. 1999. Vol. 38. N 25. P. 5413--5417
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
