Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Эмиссионные свойства лазерной плазмы при ее возбуждении на молекулярно-кластерных струях углекислоты
Переводная версия: 10.1134/S1063784219110203 
Российский научный фонд, РНФ 17 - 12 – 01227
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия 
2Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: nechay@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 28 марта 2019 г.
В окончательной редакции: 28 марта 2019 г.
Принята к печати: 15 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2019 г.
Приведены результаты исследований газоструйного лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения на базе конического сверхзвукового сопла. В качестве мишени использовались молекулярно-кластерные струи CO2. Изменением параметров газа на входе в сопло были получены различные режимы истечения газа, изучено влияние данных режимов на эмиссионные и технические характеристики источника излучения. Экспериментально показано увеличение эмиссии излучения при увеличении количества кластеризованного вещества в струе. Ключевые слова: кластеры, лазерно-плазменный источник излучения, лазерная искра, экстремальное ультрафиолетовое излучение.
- Bakshi V. EUV sources for lithography. Bellingham, Washington: SPIE press, 2006. Vol. 149
- Saalmann U., Siedschlag C., Rost J.M. // J. Phys. B: Atomic, Molecular and Optical Physics. 2006. Vol. 39. N 4. P. R39
- Крайнов В.П., Смирнов Б.М., Смирнов М.Б. // УФН. 2007. Т. 177. N 9. С. 953--981
- Taguchi T., Antonsen Jr T.M., Milchberg H.M. // Phys. Rev. Lett. 2004. Vol. 92. N 20. P. 205003
- Смирнов Б.М. // УФН. 1997. Т. 167. N 11. С. 1169--1200
- Faenov A.Y., Magunov A.I., Pikuz T.A., Skobelev I.Y., Blasco F. // AIP Conference Proceedings. AIP, 2003. Vol. 652. N 1. P. 404--414
- Parra E., Alexeev I., Fan J., Kim K.Y., McNaught S.J., Milchberg H.M. // Phys. Rev. E. 2000. Vol. 62. N 5. P. R5931
- Pikuz T.A. Faenov A.Y., Skobelev I.Y., Gasilov S.V., Boldarev A.S., Gasilov V.A., Homma T. // J. Physics: Conference Series. IOP Publishing, 2009. Vol. 163. N 1. P. 012106
- Фаенов А.Я., Пикуз Т.А., Скобелев И.Ю., Магунов А.И., Ефремов В.П., Серво М., Франкуччи М. // Письма в ЖЭТФ. 2004. Т. 80. N 12. С. 860--864
- Chkhalo N.I., Garakhin S.A., Lopatin A.Y., Nechay A.N., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Zuev S.Y. // AIP Advances. 2018. Vol. 8. N 10. P. 105003
- Крайнов В.П., Смирнов М.Б. // УФН. 2000. Т. 170. N 9. С. 969--990
- Hagena O.F. // Surf. Sci. 1981. Vol. 106. N 1. P. 101--110
- Hagena O.F., Obert W. // J. Chem. Phys. 1972. Vol. 56. N 5. P. 1793--1802
- Smith R.A., Ditmire T., Tisch J.W.G. // Rev. Sci. Instrum. 1998. Vol. 69. N 11. P. 3798--3804
- Данильченко А.Г., Коваленко С.И., Самоваров В.Н. // Письма в ЖТФ. 2008. Т. 34. Вып. 23. С. 87--94
- Kranzusch S., Mann K. // Opt. Сommun. 2001. Vol. 200. N 1--6. P. 223--230
- Bergmann K., Schriever G., Rosier O., Muller M., Neff W., Lebert R. // Appl. Opt. 1999. Vol. 38. N 25. P. 5413--5417
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
