Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Моделирование процесса коррекции локальных ошибок формы поверхности малоразмерным ионным пучком
Переводная версия: 10.1134/S1063784219110069 
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 18-32-00149мол_а
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 18-07-00633
Российская академия наук, Экстремальные световые поля и их взаимодействие с веществом, 0035-2018-0018
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия 
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: aleksej_chernyshov@mail.ru, ilya-malyshev@ipm.sci-nnov.ru, aepestov@ipm.sci-nnov.ru, chkhalo@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 28 марта 2019 г.
В окончательной редакции: 28 марта 2019 г.
Принята к печати: 15 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2019 г.
Предложен алгоритм решения задачи коррекции локальных ошибок формы поверхности малоразмерным ионным пучком. Алгоритм предполагает последовательный перебор возвышений относительно среднего с целью поиска наиболее оптимальной точки травления, удовлетворяющей критерию - уменьшение суммы модулей производных на пятне травления. Показано, что новый подход позволяет заметно расширить диапазон пространственных частот, поддающихся воздействию при заданном размере ионного пучка. Ключевые слова: ЭУФ оптика, форма поверхности, ионно-пучковая коррекция формы, ионное травление.
- Малышев И.В., Пестов А.Е., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Торопов М.Н., Чхало Н.И. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2019. N 1. C. 1--11
- Born M., Wolf E. // Principles of Optics (Cambridge University). 1999. Sec. 9.3. P. 528
- Arnold T., Bohm G., Fechner R., Meister J., Nickel A., Frost F., Hansel T., Schindler A. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. 2010. A 616. P. 147--156
- Jiao C., Li S., Xie X., Chen S., Wu D., Kang N. // Appl. Opt. 2010. Vol. 49. N 4. P. 578--585
- Chkhalo N.I., Kaskov I.A., Malyshev I.V., Mikhaylenko M.S., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Toropov M.N., Zabrodin I.G. // Precision Engineering. 2017. Vol. 48. P. 338--346
- Schindler A. Optical Fabrication and Testing. 2012. Monterey, California United States 24--28 June 2012. P. OW4D.1
- Schmelzer O., Feldkamp R. // Proc. SPIE. 2015. Vol. 9633. P. 96330E
- Liao W., Dai Y., Xie X., Zhou L. // Appl. Opt. 2014. Vol. 53. N 19. P. 4266--4274
- Liao W., Dai Y., Xie X., Zhou L. // Appl. Opt. 2014. Vol. 53. N 19. P. 4275--4281
- Chkhalo N.I., Malyshev I.V., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Toropov M.N., Soloviev A.A. // Appl. Opt. 2016. Vol. 55. N 3. P. 619--25
- Разборов А.А. // Математическое просвещение. МЦНМО. 1999. N 3. С. 127--141
- Электронный ресурс. Режим доступа: http://www.opteg.com
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
