ЖТФ, 2007, том 77, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

К теории синтеза стехиометрических пленок бинарных соединений реактивным напылением в магнетроне

А.Н.Евсюков, Б.В.Стеценко

Институт физики НАН Украины,
03028 Киев, Украина
e-mail: evsyukov@iop.kiev.ua; stetsen@iop.kiev.ua

(Поступило в Редакцию 12 июля 2006 г.)

Усовершенствована теоретическая модель реактивного напыления бинарных соединений, которая позволяет вычислять условие их стехиометрии благодаря учету процесса прилипания молекул реагирующего газа на участки поверхности, занятые бинарным соединением, и последующей их диффузии к свободным атомам титана. Показано, что поверхностная диффузия молекул реагирующего газа способствует образованию стехиометрического бинарного соединения, делает процесс напыления устойчивым, увеличивает скорость напыления и приводит к тому, что процесс синтеза бинарного соединения на геттере преобладает над процессом распыления этого соединения с катода.

PACS: 85.40.Sz, 85.30.Tv

 PDF версия (168Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2007, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster