ЖТФ, 2003, том 73, выпуск 2

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Неоднородные металлодиэлектрические пленки SiOx<Fe> как материал для инфракрасных тепловых приемников излучения

Е.В.Михайловская, И.З.Индутный, П.Е.Шепелявый

Институт физики полупроводников НАН Украины,
03028 Киев, Украина
e-mail: indutnyy@isp.kiev.ua

(Поступило в Редакцию 19 марта 2002 г.)

Описана вакуумная технология получения композитных металлодиэлектрических пленок SiOx<Fe> с изменяющейся по толщине концентрацией металла в диэлектрической матрице SiOx. Приведены результаты иследования отражения и пропускания таких пленок в ИК области спектра 2--12 mum и моделирования их оптических характеристик. В диапазоне температур 283--390 K исследованы термочувствительные свойства пленок SiOx<Fe> с соотношением объемов фаз Fe (23%) и SiO (77%). Определено значение температурного коэффициента сопротивления (ТКС) для пленок такого состава. Показана возможность использования исследованных пленок в качестве чувствительного слоя микроболометра.

 PDF версия (114Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster