Свойства пленок пермаллоя, полученных в потоках низкотемпературной плазмы с управляемым составом
Александров В.А., Веселов А.Г., Кирясова О.А., Сердобинцев А.А.
Поступила в редакцию: 30 июля 2008 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2009 г.
Предложена простая реализация потокообразующей плазменной распылительной системы. Управление составом, энергией и плотностью потока частиц позволило установить причины, определяющие свойства пленок. Установлено, что электронная составляющая потока, а также усиление ионной компоненты негативно влияют на магнитные свойства пленок. Определяющее влияние на ширину линии ферромагнитного резонанса (ФМР) пленок толщиной 10-150 nm оказывает энергия нейтральной составляющей потока, определяемая условиями распыления при напряжении на аноде 400-700 V. В этом достаточно узком диапазоне энергий значение ФМР составило 25 Oe на холодных подложках. PACS: 81.15.Jj, 75.50.Bb
- Helmersson U., Lattemann M., Bohlmark J., Ehiasarian A.P., Gudmundsson J.T. // Thin Solid Films. 2006. Vol. 513. N 1-2. P. 1-24
- Сердобинцев А.А., Бурылин Е.И., Веселов А.Г., Кирясова О.А., Джумалиев А.С. // ЖТФ. 2008. Т. 78. Вып. 3. С. 83-85
- Александров В.А., Веселов А.Г. // ЖТФ. 2008. Т. 78. Вып. 3. С. 101-103
- Бурылин Е.И., Веселов А.А., Веселов А.Г., Джумалиев А.С., Иванов С.Н., Кирясова О.А. // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. Вып. 7. С. 31-34
- Рандошкин В.В., Козлов В.И., Кокшаров Ю.А., Солецкий А.М., Сысоев Н.Н., Усманов Н.Н. // ЖТФ. 2007. Т. 77. Вып. 4. С. 104-106
- Исхаков Р.С., Середкин В.А., Столяр С.В., Яковчук В.Ю., Фролов Г.И., Бондаренко Г.В., Чеканова Л.А., Поляков В.В. // Письма в ЖТФ. 2008. Т. 34. Вып. 13. С. 75-82
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук