"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
О влиянии подложки на формирование состава, структуры и твердости нитридных и боридных пленок, полученных методами ионного осаждения
Игнатенко П.И.1, Терпий Д.Н.1, Кляхина Н.А.1
1Донецкий национальный университет, Донецк, Украина
Поступила в редакцию: 14 июня 2007 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.

Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии рассмотрено влияние материала подложки на структурно-фазовое состояние и твердость нитридных и боридных пленок. Утверждается, что степень этого влияния зависит от метода напыления, определяющего ту или иную энергию ионов, поступающих на подложку и их энергию связи с атомами подложки. PACS: 68.55.-a
  • Васильев А.Г., Захаров Д.Н., Лебедев О.И. и др. // Микроэлектроника. 1996. Т. 25. N 1. С. 354--362
  • Clair P.Le, Berera G.P., Moodera J.S. // Thin Solid Films. 2000. Vol. 376. N 12. P. 9
  • Спицын Б.В., Буйлов Л.Л., Белянин А.Н. и др. // Мат. 2-го науч.-практич. симп. "Вакуум. техн. и оборудование". Харьков, 1998. С. 245
  • Junhua Xu, Geyang Li, Mingyuan Gu // Thin Solid Films. 2000. Vol. 370. P. 45
  • Nie H.B., Xu S.Y., Wang S.J. et al. // Appl. Phys. A. 2001. Vol. 73. P. 229
  • Андриевский Р.А. // Успехи химии. 1997. Т. 66. N 11. С. 57
  • Кукушкин С.А., Осипов А.В. // ФТП. 1993. Т. 35. Вып. 1. С. 1897
  • Коротаев А.Д., Овчинников А.Д., Тюменцев А.Н. и др. // Поверхность. 2004. N 1. С. 46
  • Игнатенко П.И., Кляхина Н.А., Бадекин М.Ю. // Металлофизика и новейшие технологии. 2005. Т. 25. N 1. С. 89
  • Игнатенко П.И., Терпий Д.Н., Гончаров А.А. // Изв. РАН. Неорг. матер. 2003. Т. 39. N 5. С. 560
  • Игнатенко П.И., Кляхина Н.А., Бадекин М.Ю. // Материаловедение. 2003. N 4 (73). С. 36
  • Игнатенко П.И., Кляхина Н.А., Бадекин М.Ю. // Изв. РАН. Неорг. матер. 2005. Т. 41. N 2. С. 193
  • Игнатенко П.И., Кляхина Н.А., Бадекин М.Ю. // Изв. РАН. Неорг. матер. 2005. Т. 41. N 1. С. 40
  • Игнатенко П.И., Кляхина Н.А., Ступак В.А., Гончаров А.А. // Металлофизика и новейшие технологии. 2005. Т. 27. N 7. С. 865
  • Игнатенко П.И., Терпий Д.Н. // Поверхность. 2004. N 12. С. 102
  • Игнатенко П.И., Терпий Д.Н., Гончаров А.А., Кляхина Н.А. // Материаловедение. 2006. N 11. С. 37
  • Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989. С. 32
  • Kanaya K., Hojou K., Koga K., Toki K. // J. Appl. Phys. 1973. Vol. 12. N 9. P. 1297
  • Чернов А.А. Современная кристаллография. Т. 3. М.: Наука, 1980. С. 72
  • Миссол В. Поверхностная энергия раздела фаз в металлах и сплавах. М.: Металлургия, 1978. 176 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.