Кинетика нарастания и свойства наноструктурных пленок диборида гафния
Коновалов В.А., Терпий Д.Н.1
1Донбасская государственная машиностроительная академия, Краматорск, Украина
Поступила в редакцию: 14 мая 2008 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.
Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии, рентгенографирования фотометодом проведено исследование состава, структуры, субструктуры и физико-механических свойств пленок диборида гафния, полученных нереактивным ВЧ магнетронным распылением. На основании анализа результатов выявлена кинетика процесса их нарастания. PACS: 68.55.-a, 81.07.-b
- Самсонов Г.В., Винницкий И.М. Тугоплавкие соединения. М., 1976
- Андриевский Р.А., Глезер А.М. // ФММ. 1999. Т. 88. N 1. С. 50
- Андриевский Р.А., Глезер А.М. // ФММ. 2000. Т. 89. N 1. С. 91
- Шулаев В.М., Неклюдов И.М., Андреев А.А. // Сб. докл. 7-й Междунар. конф. "ОТТОМ-7". Харьков, 2006. С. 6
- Larsson T., Blom H.-O., Berg S. // Thin Solid Films. 1989. Vol. 172. P. 133
- Randstetter E., Mitterer C., Ebner R. // Thin Solid Films. 1991. Vol. 201. P. 123
- Willer J., Pompl S., Ristow D. // Thin Solid Films. 1990. Vol. 188. P. 157
- Zhou M., Noseb M., Makinoa Y., Nogi K. // Thin Solid Films. 2000. Vol. 359. P. 165
- Dahm K.L., Jordan L.R., Haase J., Dearnley P.A. // Surf. and Coat. Tech. 1998. Vol. 108--109. P. 413
- Chen J.S., Wang J.L. // J. Electrochem. Soc. 2000. Vol. 147. P. 1940
- Гончаров А.А., Игнатенко П.И., Коновалов В.А. и др. // ФММ. 2007. Т. 103. С. 80
- Herr W., Broszeit E. // Surf. and Coat. Tech. 1997. Vol. 97. P. 335
- Wataru Hayami, Ryutaro Souda, Takashi Aizava, Takaho Tanako. // Surface Sci. 1998. Vol. 415. P. 433
- Jonsson B., Hogmark S. // Thin Solid Films. 1984. Vol. 114. P. 257
- Konovalov V.A., Terpiy D.N., Klyahina N.A. et al. // Functional Materials. 2008. Vol. 15. N 1. P. 144
- Panich N., Wangyao P., Hannongbua S. et al. // Rev. Adv. Mater. Sci. 2006. Vol. 13. P. 117
- Kunc F., Musil J., Mayrhofer P.H., Mitterer C. // Surf. and Tech. 2003. Vol. 174--175. P. 744
- Shun Tang Lin, Chiapyng Lee. // J. of Electrochemical Society. 2003. Vol. 150 (10). P. G607
- Benjamin P., Weaver C. // Proc. Roy. Soc. London. 1060. Vol. A 254. P. 163
- Борисенко Ю.Н., Грицына В.Т., Поляков Н.И. // Зав. лаборатория. 1984. Е. 50. N 12. с. 52
- Кукушкин С.А., Осипов А.В. // ЖТФ. 1997. Т. 67. Вып. 10. С. 112
- Игнатенко П.И., Терпий Д.Н., Петухов В.В. // МФиНТ. 2004. Т. 26. N 8. С. 1063
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук