Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Вторично-ионный масс-спектрометр на базе высокодозного ионного имплантера
1Институт прикладной физики НАН Украины, Сумы, Украина 
Email: baturin@ipflab.sumy.ua
Поступила в редакцию: 27 июля 2006 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2007 г.
Для исследования процессов вторично-ионной эмиссии металлов в широком диапазоне энергий первичных ионов создан масс-спектрометр вторичных ионов на базе модернизированного высокодозного ионного имплантера. Имплантер позволяет генерировать пучки ионов с энергией до 150 keV и током на подложке до 30 muA. В качестве анализатора вторичных ионов использован модифицированный монопольный масс-спектрометр MX7304А. Возможен анализ ионов до массового числа 400 с разрешением 1 M на уровне 10% высоты пиков. Предел обнаружения по железу составляет 6.5 ppm. Анализатор снабжен малогабаритным энергофильтром, позволяющим сепарировать вторичные ионы по энергиям. Проведены исследования относительной интенсивности вторично-ионной эмиссии одноатомных и кластерных ионов меди при различных параметрах пучка первичных ионов. PACS: 82.80.Ms
- Hennequin J.F. // J. Phys. 1968. Vol. 29. N 6. P. 957--968
- Wittmaack K. // Surface Sci. 1975. Vol. 53. N 2. P. 626--635
- Плешивцев Н.В. Физические проблемы катодного распыления. М.: Ин-т атом. энергии им. Курчатова, 1979. 88 с
- Черепин В.Т. Ионный микрозондовый анализ. Киев: Наук. думка, 1992. 344 с
- Батурин В.А., Еремин С.А. // ПТЭ. 2005. N 2. С. 120--122
- Слободенюк Г.И. Квадрупольные масс-спектрометры. М.: Атомиздат, 1975. 272 с
- Мак-Хью Н.А. Методы анализа поверхности. М.: Мир, 1979. С. 276
- Клячко Д.В., Угаров В.В. // Поверхность. 1991. N 8. С. 5--16.
- Джемилев Н.Х., Курбанов Р.Т. Исследование распыления меди в виде кластеров // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1979. Т. 43. N 3. С. 606--611
- Joyes P. // J. Phys. B. 1971. Vol. 4. N 4. P. 15--18
- Joyes P. // J. Phys. and Chem. Solids. 1971. Vol. 32. N 6. P. 1269--1275
- Staudenmaier G. // Radiat. Eff. 1972. Vol. 13. N 1. P. 87--91
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
