Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Вторично-ионный масс-спектрометр на базе высокодозного ионного имплантера

Батурин В.А.¹, Еремин С.А.¹, Пустовойтов С.А.¹

¹Институт прикладной физики НАН Украины, Сумы, Украина nstitute of Applied Physics, National Academy of Sciences of Ukraine, Sumy, Ukraine

Email: baturin@ipflab.sumy.ua

Поступила в редакцию: 27 июля 2006 г.

Выставление онлайн: 20 мая 2007 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Для исследования процессов вторично-ионной эмиссии металлов в широком диапазоне энергий первичных ионов создан масс-спектрометр вторичных ионов на базе модернизированного высокодозного ионного имплантера. Имплантер позволяет генерировать пучки ионов с энергией до 150 keV и током на подложке до 30 muA. В качестве анализатора вторичных ионов использован модифицированный монопольный масс-спектрометр MX7304А. Возможен анализ ионов до массового числа 400 с разрешением 1 M на уровне 10% высоты пиков. Предел обнаружения по железу составляет 6.5 ppm. Анализатор снабжен малогабаритным энергофильтром, позволяющим сепарировать вторичные ионы по энергиям. Проведены исследования относительной интенсивности вторично-ионной эмиссии одноатомных и кластерных ионов меди при различных параметрах пучка первичных ионов. PACS: 82.80.Ms

Hennequin J.F. // J. Phys. 1968. Vol. 29. N 6. P. 957--968
Wittmaack K. // Surface Sci. 1975. Vol. 53. N 2. P. 626--635
Плешивцев Н.В. Физические проблемы катодного распыления. М.: Ин-т атом. энергии им. Курчатова, 1979. 88 с
Черепин В.Т. Ионный микрозондовый анализ. Киев: Наук. думка, 1992. 344 с
Батурин В.А., Еремин С.А. // ПТЭ. 2005. N 2. С. 120--122
Слободенюк Г.И. Квадрупольные масс-спектрометры. М.: Атомиздат, 1975. 272 с
Мак-Хью Н.А. Методы анализа поверхности. М.: Мир, 1979. С. 276
Клячко Д.В., Угаров В.В. // Поверхность. 1991. N 8. С. 5--16.
Джемилев Н.Х., Курбанов Р.Т. Исследование распыления меди в виде кластеров // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1979. Т. 43. N 3. С. 606--611
Joyes P. // J. Phys. B. 1971. Vol. 4. N 4. P. 15--18
Joyes P. // J. Phys. and Chem. Solids. 1971. Vol. 32. N 6. P. 1269--1275
Staudenmaier G. // Radiat. Eff. 1972. Vol. 13. N 1. P. 87--91

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель