Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2007, выпуск 6 » Статья стр. 62
<<<>>>
Ключевые методы увеличения высвета мягкого рентгеновского излучения из лазерной плазмы для литографии
Андреев А.А., Николаев В.Г., Платонов К.Ю., Куракин Ю.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 30 мая 2006 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2007 г.
PDF версия
Предложена двухимпульсная, двухволновая (лазеры Nd и CO2) схема облучения лазерной мишени, обеспечивающая наибольший коэффициент конверсии лазерного излучения в рентгеновский диапазон (13.5 nm ±1%). Сделаны аналитические оценки параметров импульсов и мишени, состоящей из Xe или Li. Проведена численная оптимизация ренгеновского высвета от сферической Xe мишени, облучаемой CO2 лазерным импульсом. Максимальный коэффициент конверсии лазерного излучения в рентгеновское составил ~1%. Получены угловые и спектральные характеристики рентгеновского излучения. Оценен поток быстрых ионов Xe, вылетающих из мишени и оказывающих разрушающее действие на Mo/Si-покрытие рентгеновских зеркал. PACS: 52.40.Nk
  1. Emerging Lithography Technologies IV // Proc. SPIE. 2000. P. 3997
  2. Tichenor D.A., Ray-Chaudhuri A.K., Replogle W.C. et al. // Proc. SPIE. 2001. P. 4343
  3. Schnurer V., Ter-Avetisyan S., Stiel H. et al. // Eur. Phys. J. D 14. 2001. P. 331--335
  4. Parra E., Alexeev I., Fan J. et al. // Phys. Rev. Lett. 2000. Vol. 62. P. 1063
  5. Никифиров А.Ф., Уваров В.Б. // ЖЭТФ. 1970. Т. 15. С. 191
  6. Andreev A.A. et al. // Proc. SPIE. 2001. Vol. 4343. P. 789
  7. Higashiguchi T., Andreev A.A. et al. // Appl. Phys. Lett. 2005. Vol. 86. P. 231 502
  8. Rettig K., Fomenkov I., MacFarlane J. // 3 Int. Symp. November 2004. Miyazaki, Japan
  9. Брагинский С.И. // Вопросы теории плазмы, вып. 1 / Под ред. М.А. Леонтовича. М.: Госатомиздат, 1963. С. 183--272
  10. Спитцер Л. Физика полностью ионизованного газа. М.: Мир, 1965. (Spitzer L. K. Physics of fully ionized gases. New York--London, 1962)
  11. Fraley G.S., Linnebur E.J., Mason R.J., Morse R.L. // The Physics of Fluids. 1974. Vol. 17. N 2. P. 474--489
  12. Зельдович Я.Б., Райзер Ю.П. Физика ударных волн и высокотемпературных гидродинамических явлений. М.: Наука, 1966
  13. Четверушкин Б.Н. Математическое моделирование задач динамики излучающего газа. М.: Наука, 1985
  14. Николаев В.Г. // ВАНТ. Сер. Методики и программы численного решения задач математической физики. 1985. N 2/19. С. 62--67
  15. Лыков В.А., Николаев В.Г. // ЖВМиМФ. Т. 38. N 11. С. 1907--1918
  16. Murakami M., Kang Y.-G., Nishihara K. et al. // Phys. of plasmas. 2005. Vol. 12. P. 062 706
  17. Mora P. // Phys. Rev. Lett. 2003. Vol. 90. P. 185 002--1
  18. Anisimov S.I., Lysikov Yu.V. // J. Appl. Math. Mech. 1970. Vol. 34. P. 882
  19. Komori H. et al. // 3 Int. Symp. November 2004. Miyazaki, Japan
  20. Andreev A.A., Platonov K.Yu. et al. // Book of Abstracts. ICONO/LAT Conf. St. Petersburg, May 2005. P. 149

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme