Влияние имплантации ионов титана и газовой среды на электрофизические свойства оксида алюминия
Кабышев А.В.1, Конусов Ф.В.1
1Научно-исследовательский институт высоких напряжений при Томском политехническом университете, Томск, Россия
Email: kabyshev@hvd.tpu.ru
Поступила в редакцию: 25 июля 2006 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2007 г.
Исследованы энергетические и кинетические характеристики темновой и фотопроводимости поликристаллического оксида алюминия, облученного ионами титана, до и после отжига в вакууме и на воздухе. Определено влияние температуры на стабильность свойств и механизмы электропереноса. При изменении давления воздуха от 105 до 1 Pa наблюдается устойчивая обратимость электрофизических свойств. Отжигом в вакууме на поверхности оксида алюминия может быть сформировано полупроводящее покрытие, которое при нагреве на воздухе вновь приобретает свойства диэлектрика. Возможен и обратный переход. Такие изменения связываются с дефектообразованием, накоплением кислородсодержащих комплексов и изменением стехиометрического состава синтезированных при ионно-термической модификации соединений. PACS: 81.05.-t
- Cherenda N.N., Uglov V.V., Litvinovich G.V. et al. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. 2003. Vol. B211. P. 219--226
- Ji H., Evans P.J., Samandi M. // J. Mat. Sci. 2000. Vol. 35. P. 3681--3684
- Morpeth L.D., McCallum J.C. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. 2001. Vol. B175--177. P. 537--541
- Marques C., Alves E., McHargue C. et al. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. 2002. Vol. B191. P. 644--648
- Кабышев А.В., Конусов Ф.В. // Физ. хим. обраб. мат. 2002. N 6. С. 15--20
- Molnar G., Borossay J., Benabdesselam M. et al. // Phys. Stat. Sol. (a). 2000. Vol. 179. P. 249--260
- Kabyshev A.V., Konusov F.V., Lopatin V.V. // Surface Investigation. 2001. Vol. 16. N 5. P. 723--729
- McHargue C.J., Sklad P.S., White C.W. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. 1990. Vol. B46. N 1-4. P. 79--88
- Ohuchi Fumio S., Kohyama Masanori // J. Amer. Ceram. Soc. 1991. Vol. 74. N 6. P. 1163--1187
- Evans B.D. // J. Nucl. Mater. 1995. Vol. 219. P. 202--223
- Wong W.C., McClure D.S., Basun S.A. et al. // Phys. Rev. 1995. Vol. 51. N 9. P. 5682--5692
- Marsunaga Katsuyuku, Nakamura Atsutomo, Yamamoto Takahisa et al. // Phys. Rev. B, 3 Series. 2003. Vol. 68. N 21. P. 214 102/1--214 102/8
- Левин Д.М., Герасимов В.П., Гусейнов Ф.Х. // ЖПС. 2001. Т. 68. N 3. С. 376--379
- Багдасаров Х.С., Карягин В.Ф., Кеворков А.М. и др. // Кристаллография. 1994. Т. 39. N 4. С. 656--658
- Коневский В.С., Кривоносов Е.В., Литвинов Л.А. и др. // ЖПС. 1989. Т. 50. N 4. С. 651--654
- Бессонова Т.С., Станиславский М.П., Хаимов-Мальков В.Я. // Опт. и спектр. 1976. Т. 41. Вып. 1. С. 152--154
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук