Вышедшие номера
Влияние имплантации ионов титана и газовой среды на электрофизические свойства оксида алюминия
Кабышев А.В.1, Конусов Ф.В.1
1Научно-исследовательский институт высоких напряжений при Томском политехническом университете, Томск, Россия
Email: kabyshev@hvd.tpu.ru
Поступила в редакцию: 25 июля 2006 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2007 г.

Исследованы энергетические и кинетические характеристики темновой и фотопроводимости поликристаллического оксида алюминия, облученного ионами титана, до и после отжига в вакууме и на воздухе. Определено влияние температуры на стабильность свойств и механизмы электропереноса. При изменении давления воздуха от 105 до 1 Pa наблюдается устойчивая обратимость электрофизических свойств. Отжигом в вакууме на поверхности оксида алюминия может быть сформировано полупроводящее покрытие, которое при нагреве на воздухе вновь приобретает свойства диэлектрика. Возможен и обратный переход. Такие изменения связываются с дефектообразованием, накоплением кислородсодержащих комплексов и изменением стехиометрического состава синтезированных при ионно-термической модификации соединений. PACS: 81.05.-t