Кремниевые МОП-структуры с нестехиометрическими металлоксидными полупроводниками
Тутов Е.А.1, Рябцев С.В.1, Тутов Е.Е.1, Бормонтов Е.Н.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Email: ssd126@phys.vsu.ru
Поступила в редакцию: 12 января 2006 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2006 г.
Окислительным отжигом тонких пленок олова, вольфрама, палладия, никеля и цинка на кремнии сформированы структуры металл-оксид-полупроводник и измерены их высокочастотные вольт-фарадные характеристики. Для нестехиометрических оксидов SnO2-x WO3-x и PdOx обнаружены общие особенности в энергетическом спектре плотности поверхностных состояний. PACS: 81.05.-t
- Васильев Р.Б., Рябова Л.И., Румянцева М.Н., Гаськов А.М. // Успехи химии. 2004. Т. 73. N 10. С. 1019--1038
- Тутов Е.А., Бормонтов Е.Н. // Полупроводниковые гетероструктуры. Воронеж: Воронеж. гос. технол. акад., 2005. С. 81--95
- Кукуев В.И., Тутов Е.А., Лесовой М.В. и др. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1988. N 11. С. 87--92
- Кукуев В.И., Тутов Е.А., Домашевская Э.П. и др. // ЖТФ. 1987. Т. 57. Вып. 10. С. 1957--1961
- Тутов Е.А., Кукуев В.И., Баев А.А. и др. // ЖТФ. Т. 65. Вып. 7. С. 117--124
- Tutov E.A., Baev A.A. // Appl. Surf. Sci. 1995. Vol. 90. P. 303--308.
- Ховив А.М., Лукин А.Н., Логачева В.А. и др. // Конденсированные среды и межфазные границы. 2005. Т. 7. N 1. С. 89--97
- Рябцев С.В., Тутов Е.А., Лукин А.Н., Шапошник А.В. // Сенсор. 2001. N 1. С. 26--30
- Рябцев С.В., Тутов Е.А., Бормонтов Е.Н. и др. // ФТП. 2001. Т. 35. Вып. 7. С. 869--873
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.