Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2004, выпуск 9 » Статья стр. 86
<<<>>>
Наноразмерная интерференционная литография с импульсным УФ лазером
Бредихин В.И., Буренина В.Н., Веревкин Ю.К., Кирсанов А.В., Петряков В.Н., Востоков Н.В., Дряхлушин В.Ф., Климов А.Ю.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 21 июля 2003 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2004 г.
PDF версия
Измерены чувствительность и пространственное резрешение фототермического резиста на основе двухслойной пленки металлического индия и полимера. Прямым лазерным воздействием изготовлены двумерные маски, через которые созданы наноразмерные металлические и диэлектрические островки на подложке кремния. Найдены условия получения субмикронных периодических структур на пленках TiO2, нанесенных на стеклянную подложку по золь-гель технологии. Измерены их некоторые оптические характеристики, отмечается возможность использования таких решеток для возбуждения планарных электромагнитных волн.
  1. Beyer O., Nee I., Havermeyer F., Buse K. // Appl. Opt. 2003. Vol. 42. N 1. P. 30--37
  2. Egglet B.J. // IEEE J. on Sel. Top. In QE 2001. Vol. 7. N 13. P. 409--423
  3. Cai L.Z., Yang X.L. // Opt. and Laser Tech. 2002. Vol. 34. P. 671--674
  4. Kintaka K., Nishii J., Tohge N. // Appl. Opt. 2000. Vol. 39. N 4. P. 489--503
  5. Fernandez A., Bedrossian P.J., Baker S.L. et al. // IEEE Trans. on Magn. 1996. Vol. 32. N 5. P. 4472--4474
  6. Бредихин В.И., Веревкин Ю.К., Дауме Э.Я. и др. // Квантовая электрон. 2000. Т. 30. N 4. С. 333--336
  7. Itani T., Wacamiya W. // Microel. Eng. 2002. Vol. 61--62. P. 49--55
  8. Switkes M., Blomstein T.M., Rothschild M. // Appl. Phys. Lett. 2000. Vol. 77. N 20. P. 3149--3151
  9. Шишияну С.Т., Шишияну Т.С., Райлян С.К. // ФТП. 2002. Т. 36. Вып. 5. С. 611--617
  10. Винцент С.В., Зайцев А.В., Плотников Г.С. // ФТП. 2003. Т. 37. Вып. 2. С. 134--141
  11. Smith H.I. // Physica E11. 2001. P. 104--109
  12. Zhoug Z., Halilovic A., Muhlberger M. et al. // Appl. Phys. Lett. 2003. Vol. 82. N 3. P. 445--447
  13. Ebbesen T.W., Lezec H.J., Ghaemi H.F. et al. // Nature. 1998. Vol. 391. P. 667--669
  14. Pelissier S., Blanc D., Andrews M.P. // Appl. Opt. 1999. Vol. 38. N 32. P. 6744--6748
  15. Jiang H.J., Yuan X.C., Zhou Y. et al. // Opt. Commun. 2000. Vol. 185. P. 19--24
  16. Shishido A., Diviliausky I.B., Khoo I.C. et al. // Appl. Phys. Lett. 2001. Vol. 79. N 20. P. 3332--3334
  17. Que W., Kam C.H. // Opt. Eng. 2002. Vol. 41. N 7. P. 1733--1737.
  18. Selvarajian A., Srinivas T. // IEEE J. of QE 2001. Vol. 37. N 9. P. 1117--1126
  19. Howard A., Clark D.N.S., Mitchell C.E.J. et al. // Surf. Sci. 2002. Vol. 518. P. 210--224
  20. Alcober C., Alvares F., Bilmes S.A. et al. // J. Mater Sci. Lett. 2002. Vol. 21. P. 501--504
  21. Komuro S., Katsumata T., Kokai H. // Appl. Phys. Lett. 2002. Vol. 81. N 25. P. 4733--4735
  22. Веревкин Ю.К., Востоков Н.В., Дряхлушин В.Ф. // Сб. тр. конф. "Фундаментальные проблемы оптики" СПб., 2000. С. 92--93
  23. Веревкин Ю.К., Дауме Э.Я. // Опт. и спектр. 1998. Т. 85. Вып. 2. С. 260--264
  24. Суйковская Н.В. Химические методы получения тонких прозрачных пленок. М.: Химия, 1971. 200 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme