Вышедшие номера
Влияние адсорбции паров воды на вольт-фарадные характеристики гетероструктур с пористым кремнием
Тутов Е.А.1, Бормонтов Е.Н.1, Кашкаров В.М.1, Павленко М.Н.1, Домашевская Э.П.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Email: phssd2@main.vsu.ru
Поступила в редакцию: 11 февраля 2003 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2003 г.

Пористый кремния (por-Si) получен электрохимическим травлением монокристаллического кремния n-типа проводимости в водно-спиртовом растворе плавиковой кислоты в присутствии пероксида водорода в качестве окислителя. Исследована зависимость высокочастотных вольт-фарадных характеристик гетероструктур Al/por-Si/Si от относительной влажности. Предложены модель конденсаторной структуры и методика анализа зависимости ее емкости от парциального давления паров воды как изотермы адсорбции, в рамках которых определены пористость, эффективная доля фазы диоксида кремния в por-Si, степень связности пор, отношение объемов микро- и мезопор и распределение последних по размерам. Пористый кремний с определенными в работе параметрами может быть использован в качестве чувствительного слоя в сенсорах влажности емкостного типа.