Получение методом ионно-лучевого распыления кислородом и оптические свойства ультратонких пленок золота
Стогний А.И.1, Новицкий Н.Н.1, Тушина С.Д.1, Калинников С.В.1
1Институт физики твердого тела и полупроводников НАН Белоруссии, Минск, Белоруссия
Email: stognij@ifttp.bas-net.by
Поступила в редакцию: 10 ноября 2002 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.
Исследована зависимость оптических и электрических свойств золотых пленок толщиной от менее 1 до 8 nm, полученных методом ионно-лучевого распыления с использованием ионов аргона и кислорода. Показано, что свойства пленок не зависят от типа применявшихся для распыления ионов. Установлено, что пленки толщиной от 1 до 5 nm являются сплошными и обладают высокой прозрачностью. Получены методом ионно-лучевого распыления ионами кислорода омические контакты NiOx/Au к p-GaN.
- Thin films --- Interdiffusion and Reactions / Ed. J.M. Poate, K.N. Tu, J.V. Mayer. A Willey-Interscience Publication. John Wiley and Sons Inc., 1978
- Ландсберг Г.С. Оптика. М.: Наука, 1976. 928 с
- Sheu J.K., Su Y.K., Chi G.C. et al. // Appl. Phys. Lett. 1999. Vol. 74. N 16. P. 2340--2342
- Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Стукалов О.М. // Новые магнитные материалы микроэлектроники. Сб. тр. XVIII Междунар. школы-семинара. М., 2002. С. 303--305
- Jin-Kuo Ho, Chang-Shyang Jong, Chien C.Chiu et al. // Appl. Phys. Lett. 1999. Vol. 74. N 9. P. 1275--1277
- Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Вып. III. Распыления сплавов и соединений, распыление под действием электронов и нейтронов, рельеф поверхности. Пер. с англ. / Под ред. Р. Бериш, К. Виттмака. М.: Мир, 1986. 488 с. (Sputtering by Particle Bombardment III / Ed. R. Behrisch, K. Wittmaack)
- High Vacuum Production in the Microelectronics Industry / P. Duval. Elsevier, 1988. 263 p
- Tada S., Sakamoto Y., Suzuki T. et al. // Vacuum. 1999. Vol. 53. P. 321--352
- Стогний А.И., Свирин В.Т., Тушина С.Д. и др. // ПТЭ. 2001. N 3. С. 151--154
- Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Стукалов О.М. // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28. Вып. 1. С. 39--48
- Стогний А.И., Токарев В.В. // ПТЭ. 1990. N 3. С. 142--144
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук