Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2026, выпуск 5 » Статья стр. 1042
<<<>>>
Применение лазерных технологий для изготовления компонентов вакуумных электронных приборов миллиметрового диапазона
Ножкин Д.А.1,2, Бессонов Д.А.1,3, Навроцкий И.А.1,4, Торгашов Р.А.1,2, Чурикова В.Д.2, Молчанов С.Ю., Ожогин И.С.2, Ростунцова А.А.1,2, Рыскин Н.М.1,2
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
2Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
3Саратовский государственный технический университет им. Ю.А. Гагарина, Саратов, Россия
4АО "НПП "Алмаз", Саратов, Россия
Поступила в редакцию: 14 декабря 2025 г.
В окончательной редакции: 14 декабря 2025 г.
Принята к печати: 14 декабря 2025 г.
Выставление онлайн: 2 апреля 2026 г.
PDF версия
Представлены результаты изготовления микроразмерных структур для приборов вакуумной электроники миллиметрового диапазона с помощью микрообработки лазерными импульсами наносекундной длительности. Обсуждены особенности технологии лазерной резки тонких пластин из различных материалов (медь, молибден). Изготовлены макеты прямоугольных волноводов W-диапазона (75-110 GHz) и замедляющих систем V-диапазона (50-65 GHz). Представлены результаты морфологического анализа и экспериментального исследования S-параметров изготовленных образцов. Разработана конструкция микроразмерной электронной пушки и представлены результаты изготовления ее компонентов (катод, фокусирующие электроды). Ключевые слова: лазерная микрообработка, лампа бегущей волны, замедляющая система, электронная пушка, прямоугольный волновод.
  1. D.M. Mittleman. J. Appl. Phys., 122 (23), 230901 (2017). DOI: 10.1063/1.5007683
  2. T.S. Rappaport, Y. Xing, O. Kanhere, S. Ju, A. Madanayake, S. Mandal, A. Alkhateeb, G.C. Trichopoulos. IEEE Access, 7, 78729 (2019). DOI: 10.1109/ACCESS.2019.2921522
  3. T. Kurner, D.M. Mittleman, T. Nagatsuma (eds.). THz Communications. Paving the Way towards Wireless Tbps. Springer Series in Optical Sciences. (Springer, Cham, Switzerland, 2022), v. 234, DOI: 10.1007/978-3-030-73738-2
  4. А.Д. Григорьев. Терагерцевая электроника (Физматлит, М., 2020)
  5. Г.Г. Денисов, М.Ю. Глявин, Н.С. Гинзбург, И.В. Зотова, А.Г. Литвак, Н.Ю. Песков, Н.М. Рыскин, А.В. Савилов. Вакуумная СВЧ-электроника: освоение терагерцового диапазона часто. В кн. В.Я. Панченко (ред.). Терагерцовая фотоника и оптоэлектроника (РАН, М., 2024), с. 374--463
  6. G.-S. Park, M. Tani, J.-S. Rieh, S.Y. Park (eds.). Advances in terahertz source technologies (Jenny Stanford Publishing, Singapore, 2024)
  7. Е.А. Богомолова, А.В. Галдецкий, Г.В. Рувинский, И.Г. Солдатенко. Электронная техника. Сер. 1. СВЧ техника, 3 (546), 66 (2020)
  8. А.В. Стародубов, Д.А. Ножкин, И.И. Расулов, А.А. Сердобинцев, И.О. Кожевников, В.В. Галушка, В.К. Сахаров, Д.А. Бессонов, А.Д. Галкин, И.Ш. Бахтеев, С.Ю. Молчанов, С.В. Герман, Н.М. Рыскин. Радиотехника и электроника, 67 (10), 935 (2022). DOI: 10.31857/S0033849422100126
  9. R.L. Ives. IEEE Trans. Electron Devices, 70 (6), 2693 (2023). DOI: 10.1109/TED.2023.3268629
  10. X. Li, J. Feng. Micromachines, 15 (11), 1357 (2024). DOI: 10.3390/mi15111357
  11. Р.А. Торгашов, Н.М. Рыскин, А.Г. Рожнев, А.В. Стародубов, А.А. Сердобинцев, А.М. Павлов, В.В. Галушка, И.Ш. Бахтеев, С.Ю. Молчанов. ЖТФ, 90 (4), 686 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2020.04.49096.294-19
  12. N.M. Ryskin, R.A. Torgashov, A.V. Starodubov, A.G. Rozhnev, A.A. Serdobintsev, A.M. Pavlov, V.V. Galushka, D.A. Bessonov, G. Ulisse, V. Krozer. J. Vacuum Sci. Technol. B, 39 (1), 013204 (2021). DOI: 10.1116/6.0000716
  13. D.A. Nozhkin, A.V. Starodubov, R.A. Torgashov, V.V. Galushka, I.O. Kozhevnikov, A.A. Serdobintsev, A.D. Lebedev, A.A. Kozyrev, N.M. Ryskin. IEEE Trans. Electron Devices, 72 (1), 453 (2025). DOI: 10.1109/TED.2024.3507759
  14. D.A. Nozhkin, A.V. Starodubov, A.A. Serdobintsev, I.O. Kozhevnikov, V.V. Galushka, R.A. Torgashov, I.S. Ozhogin, A.A. Rostuntsova, V.V. Emelyanov, S.Yu. Molchanov, N.M. Ryskin. Fabrication and characterization of millimeter-band planar slow-wave structures by using laser microprocessing. 2024 IEEE 9th All-Russian Microwave Conference (RMC) (Moscow, November 25--29, 2024), р. 422--425. DOI: 10.1109/RMC62880.2024.10846876
  15. A.A. Rostuntsova, R.A. Torgashov, N.M. Ryskin. IEEE Trans. Plasma Sci., 53 (6), 1134 (2025). DOI: 10.1109/TPS.2025.3567304
  16. Z. Duan, M.A. Shapiro, E. Schamiloglu, N. Behdad, Y. Gong, J.H. Booske, B.N. Basu, R.J. Temkin. IEEE Trans. Electron Devices, 66 (1), 207 (2019). DOI: 10.1109/TED.2018.2878242
  17. Z. Duan. Metamaterial-Based Electromagnetic Radiations and Applications (Springer, Singapore, 2025) DOI: 10.1007/978-981-97-8108-9
  18. А.В. Стародубов, И.С. Ожогин, А.А. Сердобинцев, И.О. Кожевников, В.Н. Титов, В.В. Галушка, И.Ш. Бахтеев, С.Ю. Молчанов, Н.М. Рыскин. Изв. вузов. Радиофизика, 68 (2), 121 (2025). DOI: 10.52452/00213462_2025_68_02_121
  19. C.-W. Baik, H.Y. Ahn, Y. Kim, J. Lee, S. Hong, C.J. Hee, S. Kim, L.S. Hun, J.S. Yeon, S. Yu. Appl. Phys. Lett., 104 (2), 021118 (2014). DOI: 10.1063/1.4862324
  20. G. Shu, J. Liao, J. Ren, J. He, J. Deng, Z. Chang, B. Xu, G. Wang, C. Ruan, W. He. IEEE Trans. Electron Devices, 68 (11), 5826 (2021). DOI: 10.1109/TED.2021.3110183
  21. A.V. Starodubov, R.A. Torgashov, V.V. Galushka, A.M. Pavlov, V.N. Titov, N.M. Ryskin, A. Abhishek, N. Kumar. Electronics, 11 (18), 2858 (2022). DOI: 10.3390/electronics11182858
  22. I.A. Navrotsky, A.A. Burtsev, V.V. Emelyanov, V.N. Titov, N.M. Ryskin. IEEE Transactions on Electron Devices, 68 (2), 798 (2021). DOI: 10.1109/TED.2020.3041425

Учредители

Издатель

© 2026 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme