Представлены результаты исследований массивов наночастиц золота и серебра, иммобилизованных на кремниевой подложке, с целью выявления возможности их использования для создания биоинтерфейсов, активируемых оптическим излучением. Наночастицы сформированы методами вакуум-термического испарения и быстрого термического отжига. Варьирование толщины исходных пленок в диапазоне от 5 до 100 nm и температуры отжига позволило получить массивы наночастиц с различной морфологией. Исследованы количественные параметры клеточного ответа - число клеток, общая площадь, занимаемая клетками, и средний размер отдельной клетки, а также распределение клеток и их морфология на поверхности подложки с наночастицами после их инкубации в течение 48 h. Наиболее высокая клеточная активность наблюдалась на золотых наночастицах, полученных из пленок толщиной 5 и 10 nm, а также на серебряных наночастицах толщиной пленок 5 nm. Ключевые слова: плазмонный резонанс, вакуум-термическое испарение, быстрый термический отжиг, биосовместимость, стимуляция.