Вышедшие номера
Демпфированный вакуумный разряд как вариант источника ЭУФ излучения для литографии
Степанов Л.В.1,2, Анциферов П.С.1,2, Матюхин Н.Д.1,3
1Институт спектроскопии РАН, Троицк, Москва, Россия
2Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики", Москва, Россия
3Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), Долгопрудный, Московская обл., Россия
Email: lvstepanov@edu.hse.ru
Поступила в редакцию: 17 декабря 2024 г.
В окончательной редакции: 21 февраля 2025 г.
Принята к печати: 27 февраля 2025 г.
Выставление онлайн: 16 июня 2025 г.

Описана установка для получения демпфированного вакуумного разряда с пиковым током 18 kA и длительностью меньше 1 μs. В таком разряде реализуется ранее обнаруженное явление возникновения многозарядных ионов в вакуумном разряде в условиях отсутствия пинчевания на стадии формирования разрядного столба плазмы. Основная идея заключается в быстром прекращении разрядного тока после этой стадии, что может позволить реализовать разрядный источник излучения с низким уровнем эрозии электродов. Управление током разряда осуществляется с помощью демпфирования разрядного контура путем включения в его цепь балластного сопротивления. Тестовые измерения показали возникновение многозарядных ионов железа (до Fe VIII) на временах 100-200 ns от начала разряда. Была изучена зависимость динамики развития разряда и интенсивности его излучения в диапазоне экстремального ультрафиолета от расстояния между электродами. Продемонстрировано возникновение излучения с длиной волны 13.5 nm при использовании в разряде анода из олова. Ключевые слова: электрические разряды, экстремально ультрафиолетовoе излучение, экстремально ультрафиолетовые спектры, многозарядные ионы.