Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Применение метода ионно-пучкового травления свободновисящих пленок для разработки пленочных корректоров экстремального ультрафиолетового диапазона длин волн

Министерства науки и высшего образования Российской Федерации, Федеральная научно-техническая программа развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019 - 2027 годы, 075-15-2021-1350

Цыбин Н.Н.¹, Клюенков Е.Б.¹, Лопатин А.Я.¹, Лучин В.И.¹, Пестов А.Е.¹, Чхало Н.И.¹

¹Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Email: tsybin@ipmras.ru, kluenkov@ipmras.ru, lopatin@ipmras.ru, luchin@ipmras.ru, aepestov@ipmras.ru, chkhalo@ipmras.ru

Поступила в редакцию: 26 апреля 2024 г.

В окончательной редакции: 26 апреля 2024 г.

Принята к печати: 26 апреля 2024 г.

Выставление онлайн: 1 июля 2024 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Предложена методика создания свободновисящих пленочных элементов, предназначенных для коррекции аберраций волнового фронта излучения в оптических схемах с рабочей длиной волны в спектральной области мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов. Изготовлены образцы пленочных структур, служащих исходной основой при формировании фазовых корректоров с характерной величиной модуляции фазы, соответствующей оптической разности хода ~1 nm на длине волны 13.5 nm, и с однородным по апертуре пропусканием не менее 60%. Продемонстрирована возможность использования ионного травления для локального изменения толщины свободновисящих многослойных пленок. Ключевые слова: многослойные свободновисящие пленки, корректор волнового фронта, ионно-пучковое травление, мягкий рентгеновский и экстремальный ультрафиолетовый диапазон длин волн.

М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики (Наука, М., 1973)
V. Bakshi. EUV Lithography (SPIE, John Wiley \& Sons, Inc., 2008)
R. Saathof, G.J.M. Schutten, J.W. Spronck, R.H.M. Schmidt. Precision Engineer., 41, 102 (2015). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2015.03.004
M. Singh, M.F. Bal, J.J.M. Braat, D. Joyeux, U. Dinger. Appl. Opt., 42 (10), 1847 (2003). DOI:10.1364/ao.42.001847
M. Yamamoto. Nucl. Instrum. Methods A, 467-468 (2), 1282 (2001). DOI: 10.1016/S0168-9002(01)00640-4
B. Bittner, N. Wabra, S. Schneider et al. Patent DE102012202057B4. 10.02.2012
N.I. Chkhalo, M.N. Drozdov, S.A. Gusev, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, N.N. Tsybin, B.A. Volodin. Proc. SPIE, 8076, 80760O-1 (2011). DOI: 10.1117/12.886781
N.I. Chkhalo, M.N. Drozdov, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, N.N. Tsybin, L.A. Sjmaenok, V.E. Banine, A.M. Yakunin. J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS., 11 (2), 021115 (2012). DOI: 10.1117/1.JMM.11.2.021115
С.Ю. Зуев, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало. Микроэлектроника, 52 (5), 354 (2023). DOI: 10.31857/S0544126923700539
A.D. Akhsakhalyan, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, A.N. Nechay, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, M.N. Toropov, N.N. Tsybin, N.I. Chkhalo, A.V. Shcherbakov. J. Surf. Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 11 (1), 1 (2017). DOI:10.1134/S1027451017010049
Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, Н.А. Дюжев. Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед., 10, 10 (2018). DOI: 10.1134/S0207352818100165
N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko. AIP Advances, 3, 082130 (2013). DOI: 10.1063/1.4820354
Электронный ресурс. Режим доступа: https://cxro.lbl.gov/
M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, E.B. Kluenkov, A.Y. Lopatin, V.I. Luchin, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, N.N. Tsybin, S.Y. Zuev. Proc. SPIE, 7025, 702502 (2008). DOI:10.1117/12.802347
N.I. Chkhalo, E.B. Kluenkov, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, D.G. Raskin, N.N. Salashchenko, L.A. Suslov, M.N. Toropov. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A, 603 (1-2), 62 (2009). DOI: 10.1016/j.nima.2008.12.160
М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадских, Н.И. Чхало, Л.А. Шмаенок. Известия АН. Сер. физ., 68 (4), 560 (2004)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель