Вышедшие номера
Взаимосвязь конструкций и эффективности инфракрасных светоизлучающих диодов на основе квантово-размерных гетероструктур AlGaAs
Малевская А.В. 1, Калюжный Н.А. 1, Малевский Д.А. 1, Покровский П.В. 1, Андреев В.М. 1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: amalevskaya@mail.ioffe.ru, Nickk@mail.ioffe.ru, dmalevsky.scell@mail.ioffe.ru, P.Pokrovskiy@mail.ioffe.ru, vmandreev@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 11 октября 2023 г.
В окончательной редакции: 28 декабря 2023 г.
Принята к печати: 17 января 2024 г.
Выставление онлайн: 21 марта 2024 г.

Выполнены исследования инфракрасных (850 nm) светоизлучающих диодов на основе квантово-размерных гетероструктур AlGaAs, выращенных методом МОС-гидридной эпитаксии, с множественными квантовыми ямами в активной области и с внутренними отражателями: с брэгговским отражателем, дополненным либо "отражающим" слоем Al0.9Ga0.1As, либо тыльным серебряным зеркалом. Исследованы постростовые технологии двух типов: планарная технология изготовления светоизлучающих диодов с сохранением ростовой подложки n-GaAs и технология "переноса" выращенной гетероструктуры на пластину-носитель p-GaAs с последующим стравливанием ростовой подложки. Максимальная внешняя квантовая эффективность более 37% при токах 0.1-0.2 A получена в светоизлучающих диодах на основе гетероструктуры с брэгговским отражателем и дополнительным Ag-зеркалом, встроенным в светоизлучающих диодах методом переноса гетероструктуры на пластину p-GaAs с использованием серебросодержащей пасты. Максимальная мощность излучения 275 mW при токе 1.2 A достигнута в светоизлучающих диодах, полученных методом "переноса" с использованием сплава Au + In. Ключевые слова: инфракрасный светоизлучающий диод, AlGaAs/GaAs-гетероструктура, брэгговский отражатель, квантовые ямы.