Взаимосвязь конструкций и эффективности инфракрасных светоизлучающих диодов на основе квантово-размерных гетероструктур AlGaAs
Малевская А.В.
1, Калюжный Н.А.
1, Малевский Д.А.
1, Покровский П.В.
1, Андреев В.М.
11Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: amalevskaya@mail.ioffe.ru, Nickk@mail.ioffe.ru, dmalevsky.scell@mail.ioffe.ru, P.Pokrovskiy@mail.ioffe.ru, vmandreev@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 11 октября 2023 г.
В окончательной редакции: 28 декабря 2023 г.
Принята к печати: 17 января 2024 г.
Выставление онлайн: 21 марта 2024 г.
Выполнены исследования инфракрасных (850 nm) светоизлучающих диодов на основе квантово-размерных гетероструктур AlGaAs, выращенных методом МОС-гидридной эпитаксии, с множественными квантовыми ямами в активной области и с внутренними отражателями: с брэгговским отражателем, дополненным либо "отражающим" слоем Al0.9Ga0.1As, либо тыльным серебряным зеркалом. Исследованы постростовые технологии двух типов: планарная технология изготовления светоизлучающих диодов с сохранением ростовой подложки n-GaAs и технология "переноса" выращенной гетероструктуры на пластину-носитель p-GaAs с последующим стравливанием ростовой подложки. Максимальная внешняя квантовая эффективность более 37% при токах 0.1-0.2 A получена в светоизлучающих диодах на основе гетероструктуры с брэгговским отражателем и дополнительным Ag-зеркалом, встроенным в светоизлучающих диодах методом переноса гетероструктуры на пластину p-GaAs с использованием серебросодержащей пасты. Максимальная мощность излучения 275 mW при токе 1.2 A достигнута в светоизлучающих диодах, полученных методом "переноса" с использованием сплава Au + In. Ключевые слова: инфракрасный светоизлучающий диод, AlGaAs/GaAs-гетероструктура, брэгговский отражатель, квантовые ямы.
- Ж.И. Алферов, В.М. Андреев, Д.З. Гарбузов, Н.Ю. Давидюк, Б.В. Егоров, Б.В. Пушный, Л.Т. Чичуа. ЖТФ, 48 (4), 809 (1978)
- А.Л. Закгейм, В.М. Марахонов, Р.П. Сейсян. Письма в ЖТФ, 6 (17), 1034 (1980)
- У. Бекирев, С. Бабенко, В. Крюков, Б. Потапов, А. Скипер. Электроника, 00137, 137 (2014)
- Электронный ресурс. АО "Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов" Режим доступа: https://www.niipp.ru/
- Патент US20230335681А1 от 19.10.2023
- А.В. Малевская, Н.А. Калюжный, Д.А. Малевский, С.А. Минтаиров, А.М. Надточий, М.В. Нахимович, Ф.Ю. Солдатенков, М.З. Шварц, В.М. Андреев. ФТП, 55 (8), 699 (2021). DOI: 10.21883/FTP.2021.08.51143.9665
- Su-Chang Ahn, Byung-Teak Lee, Won-Chan An, Dae-Kwang Kim, In-Kyu Jang, Jin-Su So, Hyung-Joo Lee. J. Korean Phys. Society, 69 (1), 91 (2016)
- E.F. Schubert, Light-Emitting Diodes, 2nd ed., Gambrige University Press (2006)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.