Вышедшие номера
Взаимосвязь конструкций и эффективности инфракрасных светоизлучающих диодов на основе квантово-размерных гетероструктур AlGaAs
Малевская А.В. 1, Калюжный Н.А. 1, Малевский Д.А. 1, Покровский П.В. 1, Андреев В.М. 1
1Ioffe Institute, Russian Academy of Sciences, St. Petersburg, Russia
Email: amalevskaya@mail.ioffe.ru, Nickk@mail.ioffe.ru, dmalevsky.scell@mail.ioffe.ru, P.Pokrovskiy@mail.ioffe.ru, vmandreev@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 11 октября 2023 г.
В окончательной редакции: 28 декабря 2023 г.
Принята к печати: 17 января 2024 г.
Выставление онлайн: 21 марта 2024 г.

Выполнены исследования инфракрасных (850 nm) светоизлучающих диодов на основе квантово-размерных гетероструктур AlGaAs, выращенных методом МОС-гидридной эпитаксии, с множественными квантовыми ямами в активной области и с внутренними отражателями: с брэгговским отражателем, дополненным либо "отражающим" слоем Al0.9Ga0.1As, либо тыльным серебряным зеркалом. Исследованы постростовые технологии двух типов: планарная технология изготовления светоизлучающих диодов с сохранением ростовой подложки n-GaAs и технология "переноса" выращенной гетероструктуры на пластину-носитель p-GaAs с последующим стравливанием ростовой подложки. Максимальная внешняя квантовая эффективность более 37% при токах 0.1-0.2 A получена в светоизлучающих диодах на основе гетероструктуры с брэгговским отражателем и дополнительным Ag-зеркалом, встроенным в светоизлучающих диодах методом переноса гетероструктуры на пластину p-GaAs с использованием серебросодержащей пасты. Максимальная мощность излучения 275 mW при токе 1.2 A достигнута в светоизлучающих диодах, полученных методом "переноса" с использованием сплава Au + In. Ключевые слова: инфракрасный светоизлучающий диод, AlGaAs/GaAs-гетероструктура, брэгговский отражатель, квантовые ямы.
  1. Ж.И. Алферов, В.М. Андреев, Д.З. Гарбузов, Н.Ю. Давидюк, Б.В. Егоров, Б.В. Пушный, Л.Т. Чичуа. ЖТФ, 48 (4), 809 (1978)
  2. А.Л. Закгейм, В.М. Марахонов, Р.П. Сейсян. Письма в ЖТФ, 6 (17), 1034 (1980)
  3. У. Бекирев, С. Бабенко, В. Крюков, Б. Потапов, А. Скипер. Электроника, 00137, 137 (2014)
  4. Электронный ресурс. АО "Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов" Режим доступа: https://www.niipp.ru/
  5. Патент US20230335681А1 от 19.10.2023
  6. А.В. Малевская, Н.А. Калюжный, Д.А. Малевский, С.А. Минтаиров, А.М. Надточий, М.В. Нахимович, Ф.Ю. Солдатенков, М.З. Шварц, В.М. Андреев. ФТП, 55 (8), 699 (2021). DOI: 10.21883/FTP.2021.08.51143.9665
  7. Su-Chang Ahn, Byung-Teak Lee, Won-Chan An, Dae-Kwang Kim, In-Kyu Jang, Jin-Su So, Hyung-Joo Lee. J. Korean Phys. Society, 69 (1), 91 (2016)
  8. E.F. Schubert, Light-Emitting Diodes, 2nd ed., Gambrige University Press (2006)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.