Вышедшие номера
Структура и свойства слоистых покрытий легированного нитрида титана с металлической капельной фракцией
Овчинников С.В.1, Нейфельд В.В.1, Воронов А.В.1
1Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, Томск, Россия
Email: ovmLMPiN@ispms.ru.
Поступила в редакцию: 18 августа 2023 г.
В окончательной редакции: 4 декабря 2023 г.
Принята к печати: 25 декабря 2023 г.
Выставление онлайн: 27 января 2024 г.

С использованием методик электронной микроскопии, индентирования, скрэтч и трибологии изучены структурно-фазовое состояние и механо-трибологические свойства слоистых покрытий легированного нитрида титана в зависимости от состава слоев и при разной доле фракции капель бронзы в поверхностном слое. Установлены морфологические особенности роста на различных масштабных уровнях, критические концентрации элементов, соответствующие структурным и фазовым превращениям, структурные особенности роста покрытия в области капель. Ключевые слова: многокомпонентный нитрид, бронза, слоистая структура, электронная микроскопия, твердость, скрэтч, трибология.
  1. M.A. Al-Bukhaiti, K.A. Al-hatab, W. Tillmann, F. Hoffmann, T. Sprute. Appl. Surf. Sci., 318, 180 (2014). DOI: 10.1016/j.apsusc.2014.03.026
  2. J. Lin, J.J. Moore, B. Mishra, M. Pinkas, X. Zhang, W.D. Sproul. Thin Solid Films, 517, 5798 (2009). DOI: 10.1016/j.tsf.2009.02.136
  3. J. Musil. Surf. Coat. Technol., 125, 322 (2000). DOI: 10.1016/S0257-8972(99)00586-1
  4. H. Ju, N. Ding, J. Xu, L. Yu, Y. Geng, F. Ahmed. Mater. Chem. Phys., 237, 121840 (2019). DOI: 10.1016/j.matchemphys.2019.121840
  5. C. Liu, H. Ju, J. Xu, L. Yu, Z. Zhao, Y. Geng, Y. Zhao. Surf. Coat. Technol., 395, 12581 (2020). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2020.125811
  6. H. Ju, N. Ding, J. Xu, L. Yu, I. Asempah, J. Xu, G. Yi, B. Ma. Surf. Coat. Technol., 345, 132 (2018). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2018.04.021
  7. J.C. Ding, T.F. Zhang, Z.X. Wan, H.J. Mei, M.C. Kang, Q.M. Wang, K.H. Kim. Scanning, 2018, 1 (2018). DOI: 10.1155/2018/6491279
  8. H.J. Mei, R. Wang, X. Zhong, W. Dai, Q.M. Coatings, 8, 24 (2018). DOI: 10.3390/coatings8010024
  9. H.D. Meji a, A.M. Echavarria, B.G. Gilberto. Thin Solid Films, 687, 137460 (2019). DOI: 10.1016/j.tsf.2019.137460
  10. D. Hernan Meji a, V.D. Perea, G. Gilberto Bejarano. Surf. Coat. Technol., 381, 125095 (2020). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2019.125095
  11. A. Vereschaka, F. Milovich, N. Andreev, C. Sotova, I. Alexandrov, A. Muranov, M. Mikhailov, A. Tatarkanov. Surf. Coatings Technol., 441, 128574 (2022). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2022.128574
  12. A. Flink, T. Larsson, J. Sjolen, L. Karlsson, L. Hultman. Surf. Coatings Technol., 200, 1535 (2005). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2005.08.096
  13. D. Yu, C. Wang, X. Cheng, F. Zhang. Thin Solid Films, 517, 4950 (2009). DOI: 10.1016/j.tsf.2009.03.091
  14. В.П. Сергеев, В.П. Яновский, Ю.Н. Параев, О.В. Сергеев, Д.В. Козлов, С.А. Журавлев. Физическая мезомеханика, 7 Ч. 2, 333 (2004)
  15. W.C. Oliver, G.M. Pharr. J. Mater. Res., 7 (6), 1564 (1992)
  16. P.H. Mayerhofer, C. Mitterer, L. Hultman, H. Clemens. Prog. Mater. Sci., 51, 1032 (2006). DOI: 10.1016/j.pmatsci.2006.02.002
  17. В.В. Береговский, Д.В. Духопельников, М.К. Марахтанов, С.А. Щуренкова. Вестник МГТУ им. Носова, 4, 29 (2008)
  18. О.В. Крысина. Автореф. канд. дисс. Томск, Институт сильноточной электроники СО РАН, 2016
  19. L. Karlsson, A. Horling, M.P. Johansson, L. Hultman, G. Ramanath. Acta Mater., 50, 5103 (2002). DOI: 10.1016/S1359-6454(02)00365-8
  20. Ю.А. Нечаев, В.М. Камышов. Известия АН СССР. Металлы, 6, 50 (1969)
  21. А.Д. Коротаев, А.Н. Тюменцев, В.Ф. Суховаров. Дисперсное упрочнение тугоплавких металлов (Наука, Новосибирск, 1989)
  22. Y.-C. Kuo, C.-J. Wang, J.-W. Lee. Thin Solid Films, 638, 220 (2017). DOI: 10.1016/j.tsf.2017.07.058
  23. K.A. Kuptsov, Ph.V. Kiryukhantsev-Korneev, A.N. Sheveiko, D.V. Shtansky. Acta Mater., 83, 408 (2015). DOI: 10.1016/j.actamat.2014.10.007
  24. S.V. Ovchinnikov, Yu.P. Pinzhin. Rus. Phys. J., 59, 799 (2016). DOI: 10.1007/s11182-016-0839-z
  25. P. Patsalas, G. Abadias, G.M. Matenoglou, L.E. Koutsokeras, Ch.E. Lekka. Surf. Coat. Technol., 205, 1324 (2010). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2010.09.024
  26. А.И. Гусев. УФН, 170 (1), 3 (2000). DOI: 10.3367/UFNr.0170.200001a.0003
  27. А.И. Гусев. Нестехиометрия, Беспорядок, ближний и дальний порядок в твердом теле (Физматлит, М., 2007)
  28. S. Vepvrek, H.-D. Mannling, M. Jilek, P. Holubar. Mater. Sci. Eng., A 366, 202 (2004). DOI: 10.1016/j.msea.2003.08.052
  29. S. Ma, J. Prochazka, P. Karvankova, Q. Ma, X. Niu, X. Wang, D. Ma, K. Xu, S. Vepvrek. Surf. Coat. Technol., 194, 143 (2005). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2004.05.007
  30. In-Wook Park, Sung Ryong Choi, Ju Huang Suh, Chan-Gyung Park, Kwang Ho Kim. Thin Solid Films, 447-448, 443 (2004). DOI: 10.1016/S0040-6090(03)01122-2
  31. V. Ezirmik, E. Senel, K. Kazmanli, A. Erdemir, M. Urgen. Surf. Coat. Technol., 202, 866 (2007). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2007.05.049
  32. Jang Ho Shin, Qi Min Wang, Kwang Ho Kim. Mater. Chem. Phys., 130, 870 (2011). DOI: 10.1016/j.matchemphys.2011.08.002
  33. A. Ozturk, K.V. Ezirmik, K. Kazmanli, M. Urgen, O.L. Eryilmaz, A. Erdemir. Tribology Intern., 41, 49 (2008). DOI: 10.1016/j.triboint.2007.04.008