Вышедшие номера
Исследование методом молекулярной динамики обратимой релаксации сжимающих механических напряжений в поликристаллических пленках металлов после остановки их осаждения
Бабушкин А.С.1, Куприянов А.Н.1
1Ярославский филиал Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН, Ярославль, Россия
Email: artem.yf-ftian@mail.ru
Поступила в редакцию: 12 апреля 2023 г.
В окончательной редакции: 23 августа 2023 г.
Принята к печати: 24 августа 2023 г.
Выставление онлайн: 26 сентября 2023 г.

Приведены результаты моделирования осаждения поликристаллических пленок металлов методом молекулярной динамики. На примере Cr и Cu исследовано влияние энергии осаждаемых частиц, скорости осаждения, а также материала и температуры пленки на изменение напряжений при остановке и возобновлении осаждения. Результаты моделирования показали, что обратимая релаксация сжимающих напряжений в поликристаллических пленках при остановке осаждения связана с латеральным перемещением атомов, попавших в межзеренные границы с поверхности в ходе осаждения, что привело к более компактному их расположению. Процесс одинаково протекает во всех слоях пленки как после остановки осаждения, так и во время него. Выход атомов из межзеренных границ обратно на поверхность пленки при остановке осаждения не наблюдался. Ключевые слова: остаточные механические напряжения, рост поликристаллических пленок, хром, медь, молекулярная динамика.