Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Изучение влияния энергии ионов неона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния при ионном травлении

DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55767.114-23

Переводная версия: 10.61011/TP.2023.07.56648.114-23

Russian science foundation, 21-72-30029

Михайленко М.С.¹, Пестов А.Е.¹, Чернышев А.К.¹, Зорина М.В.¹, Чхало Н.И.¹, Салащенко Н.Н.¹

¹Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Email: mikhaylenko@ipmras.ru

Поступила в редакцию: 12 мая 2023 г.

В окончательной редакции: 12 мая 2023 г.

Принята к печати: 12 мая 2023 г.

Выставление онлайн: 19 июня 2023 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Приведены результаты изучения энергетических зависимостей коэффициента распыления и величины эффективной шероховатости поверхности монокристаллического кремния при облучении ионами неона с энергией 100-1000 eV. Определены параметры ионно-пучкового травления ускоренными ионами Ne, обеспечивающие высокий коэффициент распыления (скорость травления). Установлено значение эффективной шероховатости в диапазоне пространственных частот 4.9·10^-2-6.3·10¹ μm^-1, составившее менее 0.3 nm для основных срезов монокристаллического кремния <100>, <110> и <111>. Ключевые слова: поверхность, шероховатости, распыление, ионное травление.

R.E. Riveros, M.P. Biskach, K.D. Allgood, J.D. Kearney, M. Hlinka, A. Numata, W.W. Zhang. Fabrication of Lightweight Silicon x-ray Mirrors for High-Resolution x-ray Optics. SPIE Astronomical Telescopes + Instrumentation, 2018, Austin, Texas, United States. Proceedings, 10699, 106990P (2018). DOI: 10.1117/12.2313409
P.Z. Takacs. Synchrotron Radiation News, 2 (26), 24 (1989)
E. Spiller, D. Stearns, M. Krumrey. J. Appl. Phys., 74, 107 (1993). DOI: 10.1063/1.354140
A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. KrAamer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, E. Ziegler. J. Synchrotron Rad., 17, 496 (2010). DOI: 10.1107/S0909049510011623
D. Zhu, Y. Feng, S. Stoupin, S.A. Terentyev, H.T. Lemke, D.M. Fritz, M. Chollet, J.M. Glownia, R. Alonso-Mori, M. Sikorski, S. Song, T.B. van Driel, G.J. Williams, M. Messerschmidt, S. Boutet, V.D. Blank, Yu.V. Shvyd'ko, A. Robert. Rev. Sci. Instrum., 85, 063106 (2014). DOI: 10.1063/1.4880724
K. Li, Y. Liu, M. Seaberg, M. Chollet, Th.M. Weiss, A. Sakdinawat. Opt. Express, 28 (8), 10939 (2020). DOI: 10.1364/OE.380534
M. Polikarpov, V. Polikarpov, I. Snigireva, A. Snigirev. Phys. Procedia, 84, 213 (2016). DOI: 10.1016/j.phpro.2016.11.037
М.С. Михайленко, А.Е. Пестов, А.К. Чернышев, М.В. Зорина, Н.И. Чхало, Н.Н. Салащенко. ЖТФ, 92 (8), 1219 (2022)
M. Demmler, M. Zeuner, F. Allenstein, Th. Dunger, M. Nestler, S. Kiontke. Ion Beam Figuring (IBF) for High Precision Optics. SPIE MOEMS-MEMS, 2010, San Francisco, California, United States. Proceedings, 7591, 75910Y (2010). DOI: 10.1117/12.840908
W. Liao, Y. Dai, X. Xie, L. Zhou. Appl. Opt., 53 (19), 4275 (2014). DOI: 10.1364/AO.53.004275
D.J. Mazey, R.S. Nelson, R.S. Barnes. Philosophical Magazine, 17 (150), 1145 (1968). DOI: 10.1080/14786436808223192
G. Carter, V. Vishnyakov. Surface and Interface Analysis, 23(7-8), 514 (1995). DOI: 10.1002/sia.740230711
M.S. Mikhailenko, N.I. Chkhalo, I.A. Kaskov, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, I.G. Zabrodin. Precision Engineering, 48, 338 (2017). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2017.01.004
Электронный ресурс. Режим доступа: http://www.telstv.ru/?page=en_silicon_wafers
N.I. Chkhalo, S.A. Churin, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina. Appl. Opt., 55 (6), 1249 (2016). DOI: 10.1364/AO.55.001249
N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina. Rev. Sci. Instrum., 86, 016102 (2015)
J. Ziegler, J.P. Biersack, M.D. Ziegler. SRIM-The Stopping and Ranges of Ions in Solids (SRIM Co., Chester, 2008), www.srim.org

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель