Использование сканирующей зондовой литографии для формирования планарных микрочастиц с конфигурационной анизотропией
Российский Научный Фонд, Проекты малых отдельных научных групп, 23-29-00085
Бизяев Д.А.
1, Бухараев А.А.
1, Морозова А.С.
1, Нургазизов Н.И.
1, Чукланов А.П.
11Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия
Email: dbiziaev@inbox.ru, a_bukharaev@mail.ru, morozova_anna_s@mail.ru, niazn@mail.ru, a.chuklanov@gmail.com
Поступила в редакцию: 4 апреля 2023 г.
В окончательной редакции: 4 апреля 2023 г.
Принята к печати: 4 апреля 2023 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2023 г.
Представлены экспериментальные результаты формирования полимерных масок для создания планарных микрочастиц заданной формы методами сканирующей зондовой литографии. Рассмотрены проблемы, связанные с нелинейностью перемещения зонда во время процесса формирования маски. Продемонстрирована возможность увеличения времени жизни зонда за счет изменения процедуры формирования маски и (или) изменения температуры образца. Улучшение качества получаемой маски достигнуто за счет использования химического травления. Ключевые слова: атомно-силовая микроскопия, полимерные маски, химическое травление.
- У. Моро. Микролитография. Принципы, методы, материалы (Мир, М., 1990)
- Q. Tang, S.'Q. Shi, L. Zhou J. Nanosci. Nanotech., 4, 948 (2004). DOI: 10.1166/jnn.2004.131
- R. Garcia, A.W. Knoll, E. Riedo. Nat. Nanotechnol., 9, 577 (2014). DOI: 10.1038/nnano.2014.157
- B. Klehn, U. Kunze. J. Appl. Phys., 85, 3897 (1999). DOI: 10.1063/1.369761
- А.О. Голубок, О.М. Горбенко, А.В. Дворецких, В.В. Котов, И.Д. Сапожников, М.Л. Фельштын. Научное приборостроение, 19 (2), 3 (2009)
- В.Л. Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии (Ин-т физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, 2004)
- Р.Г. Джексон. Новейшие датчики (Техносфера, М., 2007)
- Д.А. Бизяев, А.А. Бухараев, С.А. Зиганшина, Н.И. Нургазизов, Т.Ф. Ханипов, А.П. Чукланов. Микроэлектроника, 44 (6), 437 (2015). DOI: 10.7868/S054412691505004X
- A.A. Bukharaev, D.A. Bizyaev, N.I. Nurgazizov, A.P. Chuklanov, N.Kh. Useinov. J. Magn. Magn. Mater., 500, 166315 (2020). DOI: 10.1016/j.jmmm.2019.166315
- A. Temiryazev. Diam. Relat. Mater., 48, 60 (2014). https://doi.org/10.1016/j.diamond.2014.07.001
- U. Hartmann. Ann. Rev. Mater. Sci., 29, 53 (1999). DOI: 10.1146/annurev.matsci.29.1.53
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
