Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2022, выпуск 12 » Статья стр. 1943
<<<>>>
Преимущественное распыление при облучении сплавов газовыми кластерными ионами
DOI: 10.21883/JTF.2022.12.53761.141-22
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.12.55207.141-22
Российский научный фонд, 21-19-00310
Черныш В.С. 1, Иешкин А.Е. 1, Киреев Д.С.1, Миннебаев Д.К.1, Скрылева Е.А.2, Сенатулин Б.Р.2
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
Email: ieshkin@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 19 мая 2022 г.
В окончательной редакции: 25 июня 2022 г.
Принята к печати: 18 августа 2022 г.
Выставление онлайн: 31 октября 2022 г.
PDF версия
Исследованы топография и состав поверхности сплавов на основе никеля при облучении кластерными ионами Ar2500+ с энергией 20 keV и атомарными ионами Ar+ с энергией 3 keV. Экспериментально обнаружено обеднение поверхности сплавов компонентом с меньшей энергией связи. Показано, что изменение поверхностных концентраций компонентов сплавов при облучении кластерными ионами на порядок больше, чем при распылении атомарными ионами. Степень изменения состава поверхности определена соотношением коэффициентов распыления компонентов сплава. Ключевые слова: газовые кластерные ионы, ионное распыление, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, преимущественное распыление, топография поверхности.
  1. I. Yamada. Appl. Surf. Sci., 310, 77 (2014). DOI: 10.1016/j.apsusc.2014.03.147
  2. А.Е. Иешкин, А.Б. Толстогузов, Н.Г. Коробейщиков, В.О. Пеленович, В.С. Черныш. УФН, 192 (8), 722 (2022). DOI: 10.3367/UFNr.2021.06.038994 [A.E. Ieshkin, A.B. Tolstoguzov, N.G. Korobeishchikov, V.O. Pelenovich, V.S. Chernysh. Phys. Usp., 65 (7) (2022). DOI: 10.3367/UFNe.2021.06.038994]
  3. A. Ieshkin, D. Kireev, V. Chernysh, A. Molchanov, A. Serebryakov, M. Chirkin. Surf. Topogr. Metrol. Prop., 7, 025016 (2019). DOI: 10.1088/2051-672X/ab1f49
  4. Н.Г. Коробейщиков, И.В. Николаев, М.А. Роенко. Письма в ЖТФ, 45 (6), 30 (2019). DOI: 10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646 [N.G. Korobeishchikov, I.V. Nikolaev, M.A. Roenko. Tech. Phys. Lett., 45 (3), 274 (2019). DOI: 10.1134/S1063785019030295 ]
  5. V. Pelenovich, X.M. Zeng, J.B. Luo, R. Rakhimov, W.B. Zuo, X.Y. Zhang, C.X. Tian, C.W. Zou, D.J. Fu, B. Yang. Acta Phys. Sin., 70 (5), 053601 (2021). DOI: 10.7498/aps.70.20201454
  6. S.J. Lee, A. Hong, J. Cho, C.M. Choi, J.Y. Baek, J.Y. Eo, B.J. Cha, W.J. Byeon, J.Y. We, S. Hyun, M. Jeon, C. Jeon, D.J. Ku, M.C. Choi. Appl. Surf. Sci., 572, 151467 (2022). DOI: 10.1016/j.apsusc.2021.151467
  7. A. Delcorte, V. Delmez, C. Dupont-Gillain, C. Lauzin, H. Jefford, M. Chundak, C. Poleunis, K. Moshkunov. Phys. Chem. Chem. Phys., 22, 17427 (2020). DOI: 10.1039/d0cp02398a
  8. E.A. Skryleva, B.R. Senatulin, D.A. Kiselev, T.S. Ilina, D.A. Podgorny, Yu.N. Parkhomenko. Surf. Interfaces, 26, 101428 (2021). DOI: 10.1016/j.surfin.2021.101428
  9. O. Romanyuk, I. Gordeev, A. Paszuk, O. Supplie, J.P. Stoeckmann, J. Houdkova, E. Ukraintsev, I. Bartov s, P. Jiv r cek, T. Hannappel. Appl. Surf. Sci., 514, 145903 (2020). DOI: 10.1016/j.apsusc.2020.145903
  10. V.N. Popok, J. Samela, K. Nordlund, V.P. Popov. Phys. Rev. B, 85, 033405 (2012). DOI: 10.1103/PhysRevB.85.033405
  11. D. Maciazek, M. Kanski, Z. Postawa. Anal. Chem., 92, 7349 (2020). DOI: 10.1021/acs.analchem.0c01219
  12. R. Simpson, R.G. White, J.F. Watts, M.A. Baker. Appl. Surf. Sci., 405, 79 (2017). DOI: 10.1016/j.apsusc.2017.02.006
  13. P. Mack. https://assets.thermofisher.com/TFS-Assets/MSD/ Scientific-Resources/ Monatomic-Cluster-Argon-Ion-XPS-Presentation.pdf
  14. D.F. Yancey, C. Reinhardt. J. Electron. Spectros. Relat. Phenomena, 231, 104 (2019). DOI: 10.1016/j.elspec.2018.01.005 0368-2048
  15. A.J. Barlow, N. Sano, B.J. Murdoch, J.F. Portoles, P.J. Pigram, P.J. Cumpson. Appl. Surf. Sci., 459, 678 (2018). DOI: 10.1016/j.apsusc.2018.07.195
  16. A.E. Ieshkin, D.S. Kireev, A.A. Tatarintsev, V.S. Chernysh, B.R. Senatulin, E.A. Skryleva. Surf. Sci., 700, 121637 (2020). DOI: 10.1016/j.susc.2020.121637
  17. V.S. Chernysh, H.H. Brongersma, P. Bruner, T. Grehl. Nucl. Instrum. Meth. B, 460, 180 (2019). DOI: 10.1016/j.nimb.2019.02.008
  18. E. Gillam. J. Phys. Chem. Solids, 11, 55 (1959)
  19. L.E. Rehn, S. Danyluk, H. Wiedersich. Phys. Rev. Lett., 43, 1437 (1979). DOI: 10.1103/PhysRevLett.43.1437
  20. N.Q. Lam, G.K. Leaf, H. Wiedersich. J. Nucl. Mater., 88, 289 (1980). DOI: 10.1016/0022-3115(80)90285-8
  21. N.Q. Lam, H. Wiedersich. J. Nucl. Mater., 103, 433 (1981). DOI: 10.1016/0022-3115(82)90637-7
  22. H.H. Andersen, J. Chevalier, V. Chernysh. Nucl. Instrum. Meth., 191, 241 (1981). DOI: 10.1016/0029-554X(81)91010-7
  23. H.H. Andersen, V. Chernysh, B. Stenum, T. Sorensen, H.J. Whitlow. Surf. Sci., 123, 39 (1982). DOI: 10.1016/0039-6028(82)90127-3
  24. P. Sigmund, A. Oliva, G. Falcone, Nucl. Instrum. Meth., 194, 541 (1982). DOI: 10.1016/0029-554X(82)90578-X
  25. R. Kelly, Surf. Interf. Anal., 7, 1 (1985). DOI: 10.1002/sia.740070102
  26. H.H. Andersen, B. Stenum, T. Sorensen, H.J. Whitlow. Nucl. Instrum. Meth., 209--210, 487 (1983). DOI: 10.1016/0167-5087(83)90843-8
  27. R. Kelly, A. Oliva. Nucl. Instr. Meth. B, 13, 283 (1986). DOI: 10.1016/0168-583X(86)90515-X
  28. D.M. Gruen, A.R. Krauss, S. Susman, M. Venugopalan, M. Ron. J. Vac. Sci. Tech. A, 1, 924 (1983). DOI: 10.1116/1.572152
  29. P. Sigmund. Nucl. Instrum. Meth. B, 27, 1 (1987). DOI: 10.1016/0168-583X(87)90004-8
  30. R. Kelly. In: Proc. Symposium on Sputtering, ed. by P. Varga, G. Betz, F.P. Viehbjck, (Vienna, 1980)
  31. N.Q. Lam, H. Wiedersich. Rad. Eff. Lett., 67, 107 (1982). DOI: 10.1080/01422448208226866
  32. R. Behrisch (Ed.) Sputtering by Particle Bombardment I. Topics in Applied Physics (Springer-Verlag, Berlin-Heidelberg-NY., 1981), v. 47. DOI: 10.1007/3-540-10521-2
  33. M. Shikata, R. Shimizu. Surf. Sci., 97, L363 (1980). DOI: 10.1016/0039-6028(80)90664-0
  34. H.V. Pickering. J. Vac. Sci. Tech., 13, 618 (1976). DOI: 10.1116/1.569045
  35. V.S. Chernysh, A.E. Ieshkin, D.S. Kireev, A.V. Nazarov, A.D. Zavilgelsky. Surf. Coat. Tech., 388, 125608 (2020). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2020.125608
  36. N. Toyoda, H. Kitani, N. Hagiwara, T. Aoki, J. Matsuo, I. Yamada. Mater. Chem. Phys., 54, 262 (1998). DOI: 10.1016/S0254-0584(98)00101-1
  37. A.E. Ieshkin, Yu.A. Ermakov, V.S. Chernys. Nucl. Instrum. Meth. B, 354, 226 (2015). DOI: 10.1016/j.nimb.2014.11.065
  38. M. Benguerba, Nucl. Instrum. Meth. B, 420, 27 (2018). DOI: 10.1016/j.nimb.2018.01.030
  39. J. Matsuo, N. Toyoda, M. Akizuki, I. Yamada. Nucl. Instrum. Meth. B, 121, 459 (1997). DOI: 10.1016/S0168-583X(96)00541-1
  40. P. Sigmund. Nucl. Instrum. Meth. B, 406, 391 (2017). DOI: 10.1016/j.nimb.2016.12.004
  41. J.B. Malherbe, W.O. Barnard. Surf. Sci., 255, 309 (1991). DOI: 10.1016/0039-6028(91)90688-O
  42. M.P. Seah, T.S. Nunney. J. Phys. D, 43, 253001 (2010). DOI: 10.1088/0022-3727/43/25/253001
  43. Y. Yamamura, H. Tawara. At. Data Nucl. Data Tables, 62, 149 (1996). DOI: 10.1006/adnd.1996.0005

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme