Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Тонкопленочные Al-мишени для лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.08.54565.75-22 
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия 
Email: lopatin@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 4 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 4 апреля 2022 г.
Принята к печати: 4 апреля 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.
При помощи зеркального спектрометра экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) диапазона исследованы спектры излучения массивного алюминия в интервале длин волн 8.0-18.0 nm при лазерном возбуждении. Проведено тестирование тонкопленочных лазерных мишеней из алюминия и сравнительные измерения интенсивности ЭУФ излучения пленки толщиной 100 nm и мишени из массивного материала. Ключевые слова: МР, экстремальное ультрафиолетовое излучение, тонкие пленки, лазерная плазма.
- D.J. Nagel, C.M. Brown, M.C. Peckerar, M.L. Ginter, J.A. Robinson, T.J. McIlrath, P.K. Carroll. Appl. Opt., 23 (9), 1428-1433 (1984)
- A.V. Vinogradov, V.N. Shlyaptsev. Sov. J. Quant. Electron., 17 (1), 1-13 (1987)
- H.C. Gerritsen, H. van Brug, F. Bijkerk, M.J. van der Wiel. J. Appl. Phys., 59, 2337-2344 (1986)
- А.Н. Нечай, А.А. Перекалов, Н.И. Чхало, Н.Н. Салащенко. ЖТФ, 89 (11), 1656-1662 (2019). DOI: 10.21883/JTF.2019.11.48324.131-19 [A.N. Nechai, A.A. Perekalov, N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko. Tech. Phys., 64 (11), 1566-1572 (2019). DOI: 10.1134/S1063784219110203]
- А.Н. Нечай, А.А. Перекалов, Н.И. Чхало, Н.Н. Салащенко, И.Г. Забродин, И.А. Каськов, А.Е. Пестов. Поверхность, 9, 1-10 (2019)
- А.В. Водопьянов, С.А. Гарахин, И.Г. Забродин., С.Ю. Зуев, А.Я. Лопатин, А.Н. Нечай, А.Е. Пестов, А.А. Перекалов, Р.С. Плешков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Р.М. Смертин, Б.А. Уласевич, Н.И. Чхало. Квант. электрон., 51 (8), 700-707 (2021). http://mi.mathnet.ru/qe17892 [A.V. Vodop'yanov, S.A. Garakhin, I.G. Zabrodin, S.Yu. Zuev, A.Ya. Lopatin, A.N. Nechay, A.E. Pestov, A.A. Perekalov, R.S. Pleshkov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, R.M. Smertin, B.A. Ulasevich, N.I. Chkhalo. Quant. Electron., 51 (8),700 (2021). DOI:org/10.1070/QEL17598
- J.M. Bridges, C.L. Cromer, T.J. McIlrath. Appl. Opt., 25 (13), 2208-2214 (1986)
- N.I. Chkhalo, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, L.A. Sjmaenok, N.N. Tsybin. Thin Solid Films, 631, 93-98 (2017)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
