Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Многослойные зеркала Ru/Sr для спектрального диапазона 9-12 nm
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.08.54562.124-22 
Шапошников Р.А.1, Зуев C.Ю.1, Полковников В.Н.1, Салащенко Н.Н.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия 
Email: shaposhnikov-roma@mail.ru
Поступила в редакцию: 6 мая 2022 г.
В окончательной редакции: 6 мая 2022 г.
Принята к печати: 6 мая 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.
Приведены результаты исследований Ru/Sr-многослойных зеркал, оптимизированных на рабочий диапазон длин волн 9-12 nm. В рамках представленной работы впервые были получены многослойные структуры на основе стронция, обладающие стабильными во времени отражательными характеристиками. Показано, что зеркала Ru/Sr в спектральном диапазоне 9-12 nm имеют наибольшее значение коэффициентов отражения из всех известных отражающих покрытий, за исключением бериллий-содержащих. Ключевые слова: многослойные рентгеновские зеркала, рентгеновская литография, рентгеновское излучение.
- S.A. Bogachev, N.I. Chkhalo, S.V. Kuzin, D.E. Pariev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, S.V. Shestov, S.Y. Zuev. Appl. Optics, 55 (9), 2126-2135 (2016)
- D. Marti nez-Galarce, R. Soufli, D. L. Windt, M. Bruner. Opt. Eng., 59 (2), 095102-1-095102-15 (2013)
- N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko. AIP Advan., 3 (8), 082130 (2013)
- А.Д. Ахсахалян, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, А.Н. Нечай, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, М.Н. Торопов, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало, А.В. Щербаков. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 1, 5-24 (2017)
- А.Н. Нечай, С.А. Гарахин, А.Я. Лопатин, В.Н. Полковников, Д.Г. Реунов, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало, Н.Н. Цыбин. Квант. электрон., 50 (4) 408-413 (2020). DOI: 10.1070/QEL17269
- N.I. Chkhalo, S.A. Garakhin, A.Ya. Lopatin, A.N. Nechay, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, N.N. Tsybin, S.Yu. Zuev. AIP Advan., 8, 105003 (2018)
- В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, Н.И. Чхало. УФН, 190, 92-106 (2020). DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038623
- Ю.А. Вайнер, С.А. Гарахин, С.Ю. Зуев, А.Н. Нечай, Р.С. Плешков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, М.Г. Сертсу, Р.М. Смертин, А. Соколов, Н.И. Чхало, Ф. Шаферс. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2, 3-14 (2020). DOI: 10.31857/S1028096020020168
- D.L. Windt, E.M. Gullikson. Appl. Opt., 54 (18), 5850 (2015)
- В.Н. Полковников, Р.А. Шапошников, Н.И. Чхало, Н.Н. Салащенко, Н.А. Дюжев, Ф.А. Пудонин, Г.Д. Демин. Краткие сообщения по физике ФИАН, 12, 58-60 (2021)
- B. Sae-Lao, C. Montcalm. Opt. Lett., 26 (7), 468-470 (2001)
- S.S. Andreev, A.D. Akhsakhalyan, M.A. Bibishkin, N.I. Chkhalo, S.V. Gaponov, S.A. Gusev, E.B. Kluenkov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, F. Schafers, S.Yu. Zuev. Centr. Europ. J. Phys., 1, 191-209 (2003)
- A. Sokolov, P. Bischoff, F. Eggenstein, A. Erko, A. Gaupp, S. Kunstner, M. Mast, J.S. Schmidt, F. Senf, F. Siewert, T. Zeschke, F. Schafers. Rev. Sci. Instrum., 87 (5), 052005 (2016). https://doi.org/10.1063/1.4950731
- M. Svechnikov. J. Appl. Cryst., 53, 244-252 (2020). https://doi.org/10.1107/S160057671901584X
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
