Вышедшие номера
Формирование неоднородных оксидных и субоксидных слоев на ультратонкой металлической пленке при многократном окислении и ионном распылении
Лубенченко А.В. 1, Иванов Д.А.1, Лубенченко О.И.1, Паволоцкий А.Б.2, Лукьянцев Д.С.1, Ячук В.А.1, Павлов О.Н.1
1НИУ Московский энергетический институт, Москва, Россия
2Chalmers University of Technology, Goteborg, Sweden
Email: lubenchenkoav@mpei.ru
Поступила в редакцию: 30 марта 2022 г.
В окончательной редакции: 30 марта 2022 г.
Принята к печати: 30 марта 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.

Представлена технология контролируемого формирования многослойных оксидных и субоксидных слоев на тонкой металлической пленке. Продемонстрирована возможность контролируемого создания пленок с ультратонким субоксидным слоем внутри слоя высшего оксида и пленок, представляющих собой периодическую структуру с чередованием оксидных слоев с разной степенью окисления. Получена структура с чередованием ультратонких слоев из высшего оксида и субоксидных слоев на ниобиевой пленке. Ключевые слова: металл-оксидные пленки, контролируемое формирование пленок, послойный химический и фазовый анализ, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия.