Ударное разрушение кристаллического, аморфизованного имплантацией Ar+ и аморфного диоксида кремния
Щербаков И.П.1, Чмель А.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: chmel@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 10 сентября 2021 г.
В окончательной редакции: 12 ноября 2021 г.
Принята к печати: 18 ноября 2021 г.
Выставление онлайн: 10 декабря 2021 г.
При механическом разрушении диоксида кремния возникает механолюминесценция (МЛ), вызываемая множеством разрывов межатомных связей с образованием групп с несвязанным кислородом [=Si-O-]. Сигнал люминесценции состоит из серии импульсов, энергия которых пропорциональна числу излученных фотонов из указанных первичных дефектов. Проведен анализ распределений энергии в сериях МЛ, индуцированных локальным ударным повреждением поверхности образцов кристаллического и стеклообразного SiO2, как модифицированных имплантацией инертных ионов Ar+, так и в исходном (необлученном) состоянии. Обсуждены причины случайного либо кооперативного накопления разорванных химических связей при названном механическом воздействии. Ключевые слова: диоксид кремния, имплантация Ar+, ударное повреждение, механолюминесценция.
- H. Fischer, G. Gotz, H. Karge. PSS, 76, 249 (1983). DOI: org/10.1002/pssa.2210760211
- L. Douillard, J.P. Duraud. Nucl. Instrum. Meth. B, 107, 212 (1996). DOI.org/10.1016/0168-583X(95)01044-0
- S. G asiorek, K.P. Lieb, P.K. Sahoo, Keinonen J. Appl. Phys. B, 93, 245 (2008). DOI: 10.1007/s00340-008-3156-6
- P.K. Gupta. J. Non-Cryst. Solid., 195, 158 (1996). DOI: org/10.1016/0022-3093(95)00502-1
- D. Shamiryan, D.V. Likhachev. Spectroscopic Ellipsometry of Ion-Implantation-Induced Damage. In: Ion Implantation. Ed. M. Goorsky (InTech, Rijeka, Croatia, 2012), p. 89-104
- P.C. Basu, P. Labbe, D.J. Naus. 22nd Conf. on Structural Mechanics in Reactor Technology, Division 6. San Francisco, USA, 2013
- Э.И. Рау, А.А. Татаринцев, Е.Ю. Зыкова, С.В. Зайцев. ЖТФ, 89, 13 (2019). DOI: 10.21883/JTF.2019.08.47904.264-18
- C.R. Fritzche, W.R. Rothemund. J. Elecrochim. Soc., 119, 1243 (1972)
- И.П. Щербаков, А.Е. Чмель. ФХС, 46, 509 (2020). DOI: 10.31857/S013266512005008X
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
