Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4 5 6 7
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Сравнение СТМ и АСМ измерений тонких пленок Mo с моделью Кардара-Паризи-Жанга

DOI: 10.21883/JTF.2021.10.51358.130-21

Фомин Л.А. ¹, Маликов И.В.

¹, Березин В.А.¹, Рассадин А.Э.², Логинов А.Б.³, Логинов Б.А.⁴

¹Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия Institute of Microelectronics Technology and High Purity Materials, Russian Academy of Sciences, Chernogolovka, Russia

Institute of Microelectronics Technology and High Purity Materials, Russian Academy of Sciences, Chernogolovka, Russia

²НИУ Высшая школа экономики, Нижний Новгород, Россия National Research University Higher School of Economics, Nizhny Novgorod, Russia

³Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia

⁴Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия National Research University of Electronic Technology, Zelenograd, Moscow, Russia

National Research University of Electronic Technology, Zelenograd, Moscow, Russia

Email: fomin@iptm.ru

Поступила в редакцию: 29 апреля 2021 г.

В окончательной редакции: 29 апреля 2021 г.

Принята к печати: 29 апреля 2021 г.

Выставление онлайн: 27 июня 2021 г.

PDF версия

Методами сканирующей туннельной микроскопии и атомно-силовой микроскопии исследован рельеф эпитаксиальных пленок Mo малых толщин, выращенных на R-плоскости сапфира. Найдена область параметров модели эволюции рельефа поверхности пленок Кардара-Паризи-Жанга, в которой она соответствует полученным экспериментальным результатам. Ключевые слова: эпитаксиальные пленки, тугоплавкие металлы, шероховатая поверхность, принцип максимума Олейник-Лакса, преобразование Коула-Хопфа.

P. Kapur, J.P. McVittie, K.C. Saraswat. IEEE Trans. Electron Dev. 49, 590 (2002). DOI: 10.1109/16.992867
C.Y. Pan, A. Naeemi. IEEE Electron Dev. Lett., 35, 250 (2014). DOI: 10.1109/LED.2013.2291783
Л.А. Фомин, И.В. Маликов, В.А. Березин, А.В. Черных, А.Б. Логинов, Б.А. Логинов. ЖТФ, 90 (11), 1830 (2020). [L.A. Fomin, I.V. Malikov, V.A. Berezin, A.V. Chernykh, A.B. Loginov, B.A. Loginov. Tech. Phys., 65 (11), 1748 (2020).] DOI: 10.21883/JTF.2020.11.49970.110-20
R.C. Munoz, G. Vidal, G. Kremer, L. Moraga, C. Arenas, A. Concha. J. Phys.: Condens. Matter., 12, 2903 (2000). DOI: 10.1088/0953-8984/12/13/302
R.C. Munoz, G.Vidal, M. Mulsow, J.G. Lisoni, C. Arenas, A. Concha, F. Mora, R. Espejo, G. Kremer, L. Moraga, R. Esparza, P. Haberle. Phys. Rev. B, 62, 4686 (2000). DOI: 10.1103/PhysRevB.62.4686
M. Kardar, G. Parisi, Y.C. Zhang. Phys. Rev. Lett., 56, 889 (1986). DOI: 10.1103/PhysRevLett.56.889
K.A. Takeuchi. Physica A, 504, 77 (2018). DOI: 10.1016/j.physa.2018.03.009
M. Gubinelli, N. Perkowski. Comm. Math. Phys., 349, 165 (2017). DOI: 10.1007/s00220-016-2788-3
A. Krajenbrink, P. Le Doussal. Phys. Rev. E, 96, 020102 (2017). DOI: 10.1103/PhysRevE.96.020102
B. Meerson, E. Katzav, A. Vilenkin. Phys. Rev. Lett., 116, 070601 (2016). DOI: 10.1103/PhysRevLett.116.070601
J. Villain. J. Phys., I 1, 19 (1991). DOI: 10.1051/jp1:1991114
A.-L. Barabasi, H.E. Stanley. Fractal concepts in surface growth (Cambridge University Press, 1995), 388 p
И.В. Воротынцев, А.Э. Рассадин, Л.А. Фомин, И.В. Маликов. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 4, 90 (2021). [I.V. Vorotyntsev, A.E. Rassadin, L.A. Fomin, I.V. Malikov. J. Surf. Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniq., 15, 389 (2021).] DOI: 10.1134/S1027451021020348
С.Н. Гурбатов, О.В. Руденко, А.И. Саичев. Волны и структуры в нелинейных средах без дисперсии. Приложения к нелинейной акустике (Физматлит, М., 2008), 496 с
О.А. Олейник. УМН, 12 (3), 3 (1957)
I.V. Malikov, L.A. Fomin, V.A. Berezin. Ferroelectrics, 559 (1), 150 (2020). DOI: 10.1080/00150193.2020.1722017
К. Оура, В.Г. Лифшиц, А.А. Саранин, А.В. Зотов, М. Катаяма. Введение в физику поверхности (Наука, М., 2006), 490 с
N. Eustathopoulos, M.G. Nicholas, B. Drevet. Wettability at High Temperatures (Pergamon Materials Series, 1999), v. 3
U. May, R. Calarco, J.O. Hauch, H. Kittur, M. Fonine, U. Rudiger, G. Guntherodt. Surf. Sci., 489, 144 (2001). DOI: 10.1016/S0039-6028(01)01172-4
L.A. Fomin, I.V. Malikov, S.V. Pyatkin, G.M. Mikhailov. J. Magn. Magn. Mater., 322, 851. DOI: 10.1016/j.jmmm.2009.11.016

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель