Вышедшие номера
Получение гладких высокоточных поверхностей методом механического притира
Торопов М.Н.1, Ахсахалян А.А.1, Зорина М.В.1, Салащенко Н.Н.1, Чхало Н.И.1, Токунов Ю.М.2
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Московский физико-технический институт (МИФИ) Долгопрудный, Московская обл., Россия
Email: chkhalo@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 12 апреля 2020 г.
В окончательной редакции: 12 апреля 2020 г.
Принята к печати: 12 апреля 2020 г.
Выставление онлайн: 15 июля 2020 г.

Подробно описана методика получения высокоточных гладких сферических подложек с использованием механического притира и применяемая для этих целей метрология. Приведена модифицированная схема двухзондового интерферометра с дифракционной волной сравнения, обеспечивающая выравнивание интенсивности в плечах интерферометра и перестройку рабочей апертуры без перенастройки прибора. Представлены экспериментальные результаты, полученные при доводке с использованием этой методики вогнутой сферической подложки из плавленого кварца с числовой апертурой NA = 0.30, изготовленной традиционным методом глубокой шлифовки--полировки. Исходные характеристики подложки: точность формы по параметру СКО = 36 nm (~λ/20), эффективной шероховатостью в диапазоне пространственных частот 0.025-65 μm-1 sigmaeff=1.1 nm. После доводки подложки параметры поверхности улучшились до значений: СКО = 3.3 nm (~λ/200) и sigmaeff=0.26 nm. Исследовано влияние размера зерна в суспензии на шероховатость и форму подложки. Ключевые слова: притир, шлифовка--полировка, шероховатость, сферическая подложка.
  1. Wood O., Arnold J., Brunner T. et al. // Proc. SPIE. 2012. Vol. 8322. 832203
  2. Mark N., Wurm S. // Adv. Opt. Technol. 2015. Vol. 4. N 4. P. 235--240. DOI: 10.1515/aot-2015-0036
  3. Wu B., Kumar A. // Appl. Phys. Rev. 2014. Vol. 1. Р. 011104
  4. Kim S.-S., Chalykh R., Kim H. et al. // Proc. SPIE. 2017. Vol. 10143. P. 1014306. DOI: 10.1117/12.2264043
  5. Golub L., Nystrom G., Herant M., Kalata K., Lovas I. // Nature. 1990. Vol. 344. P. 842--844
  6. Kosugi T., Matsuzaki K., Sakao T. et al. // Sol. Phys. 2007. Vol. 243. N 1. P. 3--17
  7. Pesnell W.D., Thompson B.J., Chamberlin P.C. // Sol. Phys. 2012. Vol. 275. N 1--2. P. 3--15
  8. Kaiser M.L., Kucera T.A., Davila J.M., Cyr O.C.St., Guhathakurta M., Christian E. // Space Sci. Rev. 2008. Vol. 13. N 1--4. P. 5--16
  9. Kobayashi K., Cirtain J., Winebarger A.R. et al. // Sol. Phys. 2014. Vol. 289. N 11. P. 4393--4412
  10. Kirz J., Jacobsen C., Howells M. // Rev. Biophys. 1995. Vol. 28. P. 130
  11. Takman P.A.C., Stollberg H., Johansson J.A. et al. // J. Microsc. 2007. Vol. 226. P. 175--181
  12. Bertilson M., von Hofsten O., Vogt U. et al. // Opt. Express. 2009. Vol. 17. P. 11057--11065
  13. Rehbein S.,  Heim S., Guttmann P. et al. // Phys. Rev. Lett. 2009. Vol. 103. N 11. P. 110801
  14. Akhsakhalyan A.D., Kluenkov E.B., Lopatin A.Ya. // J. Surf. Invest.-X-Ray. 2017. Vol. 11. N 1. P. 1--19
  15. Admans G., Berkvens P., Kaprolat A., Revol J.-L. ESRF upgrade programme phase II (2015--2022). Technical design study. Imprimerie de Pont de Claix, 2014. 192 p. 8.59 http://www.esrf.eu/Apache\_files/Upgrade/ESRF-orange-book.pdf
  16. Thiess H., Lasser H., Siewert F. // Nucl. Instrum. Meth. A. 2010. Vol. 616. P. 157--161
  17. Смирнов В.А. Обработка оптического стекла. 3-е изд. Л.: Машиностроение, 1980. 183 с
  18. Chkhalo N.I., Kaskov I.A., Malyshev I.V. et al. // Prec. Eng. 2017. Vol. 48. P. 338--346. DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2017.01.004
  19. Brychikhin M.N., Chkhalo N.I., Eikhorn Ya.O. // Appl. Opt. 2016. Vol. 55. N 16. P. 4430--4435
  20. Chkhalo N.I., Malyshev I.V., Pestov A.E. et al. // J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 2018. Vol. 4. N 1. P. 014003-1--014003-9.
  21. Malacara D. Optical shop testing. 2nd ed. NY.: John Wiley\&Sons, Inc., 1992. 792 p
  22. Malyshev I.V., Pestov A.E., Polkovnikov V.N. et al. // J. Surf. Invest.-X-Ray. 2018. Vol. 12. N 6. P. 1253--1263
  23. Dinger U., Eisert F., Lasser H. et al. // Proc. SPIE. 2000. Vol. 4146. P. 35. DOI: http://dx.doi.org/10.1117/12.406674
  24. Окатов М.А., Антонов Э.А., Байгожин А. и др. Справочник технолога-оптика / Под ред. М.А. Окатова. СПб.: Политехника, 2004. 679 с
  25. Blunt R. // Proc. of CEMANTECH Conf. Vancouver, Canada, 2006. P. 59--62
  26. Martinez-Galarce D., Soufli R., Windt D.L. et al. // Opt. Eng. 2013. Vol. 52. N 9. P. 095102-1-14
  27. Kozhevnikov I.V., Pyatakhin M.V. // J. X-Ray Sci. Technol. 2000. Vol. 8. P. 253--275
  28. Asadchikov V.E., Kozhevnikov I.V., Krivonosov Yu.S. et al. // Nucl. Instrum. Meth. A. 2004. Vol. 530. P. 575--595
  29. Barysheva M.M., Chkhalo N.I., Drozdov M.N. et al. // J. X-Ray Sci. Technol. 2019. Vol. 27. N 5. P. 857--870. DOI: http://dx.doi.org/10.3233/XST-190495
  30. Svechnikov M.V., Chkhalo N.I., Toropov M.N. et al. // Opt. Lett. 2015. Vol. 40. N 2. P. 159--162
  31. Griffith J.E., Grigg D.A. // J. Appl. Phys. 1993. Vol. 74. N 9. P. R83--R109
  32. Barysheva M.M., Vainer Yu.A., Gribkov B.A. et al. // Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 2011. Vol. 75. N 1. P. 67--72
  33. Chkhalo N.I., Churin S.A., Pestov A.E. et al. // Opt. Express. 2014. Vol. 22. N 17. P. 20094--20106
  34. Chkhalo N.I., Salashchenko N.N., Zorina M.V. // Rev. Sci. Instrum. 2015. Vol. 86. P. 016102
  35. Chkhalo N.I., Malyshev I.V., Pestov A.E. et al. // Appl. Opt. 2016. Vol. 55. N 3. P. 619--625
  36. Чхало Н.И., Малышев И.В., Пестов А.Е. и др. // УФН. 2020. Т. 190. N 1. С. 74--91. https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038601
  37. Mahajan V.N., Dai G.M. // J. Opt. Soc. Am. A. 2007. Vol. 24. N 9. P. 2994--3016
  38. Svechnikov M.V., Chkhalo N.I., Toropov M.N., Salashchenko N.N. // Opt. Express. 2015. Vol. 23. N 11. P. 14677--14694
  39. Ахсахалян А.А., Гаврилин Д.А., Малышев И.В. и др. // ЖТФ. 2019. Т. 89. Вып. 11. С. 1789--1794
  40. Ziegler E., Peverini L., Vaxelaire N. et al. // Nucl. Instrum. Meth. A. 2010. Vol. 616. N 2--3. P. 188--192
  41. Chen S., Li S., Peng X., Hu H., Tie G. // Appl. Opt. 2015. Vol. 54. N 6. P. 1478--1484
  42. Chkhalo N.I., Churin S.A., Mikhaylenko M.S. et al. // Appl. Opt. 2016. Vol. 55. N 6. P. 1249--1256.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.