Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Получение гладких высокоточных поверхностей методом механического притира

DOI: 10.21883/JTF.2020.11.49990.127-20

Переводная версия: 10.1134/S1063784220110262

Торопов М.Н.¹, Ахсахалян А.А.¹, Зорина М.В.¹, Салащенко Н.Н.¹, Чхало Н.И.¹, Токунов Ю.М.²

¹Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

²Московский физико-технический институт, Долгопрудный, Московская обл., Россия Moscow Institute of Physics and Technology, Dolgoprudny, Moscow oblast, Russia

Moscow Institute of Physics and Technology, Dolgoprudny, Moscow oblast, Russia

Email: chkhalo@ipm.sci-nnov.ru

Поступила в редакцию: 12 апреля 2020 г.

В окончательной редакции: 12 апреля 2020 г.

Принята к печати: 12 апреля 2020 г.

Выставление онлайн: 15 июля 2020 г.

PDF версия

Подробно описана методика получения высокоточных гладких сферических подложек с использованием механического притира и применяемая для этих целей метрология. Приведена модифицированная схема двухзондового интерферометра с дифракционной волной сравнения, обеспечивающая выравнивание интенсивности в плечах интерферометра и перестройку рабочей апертуры без перенастройки прибора. Представлены экспериментальные результаты, полученные при доводке с использованием этой методики вогнутой сферической подложки из плавленого кварца с числовой апертурой NA = 0.30, изготовленной традиционным методом глубокой шлифовки-полировки. Исходные характеристики подложки: точность формы по параметру СКО = 36 nm (~λ/20), эффективной шероховатостью в диапазоне пространственных частот 0.025-65 μm^-1 sigma_eff=1.1 nm. После доводки подложки параметры поверхности улучшились до значений: СКО = 3.3 nm (~λ/200) и sigma_eff=0.26 nm. Исследовано влияние размера зерна в суспензии на шероховатость и форму подложки. Ключевые слова: притир, шлифовка-полировка, шероховатость, сферическая подложка.

Wood O., Arnold J., Brunner T. et al. // Proc. SPIE. 2012. Vol. 8322. 832203
Mark N., Wurm S. // Adv. Opt. Technol. 2015. Vol. 4. N 4. P. 235--240. DOI: 10.1515/aot-2015-0036
Wu B., Kumar A. // Appl. Phys. Rev. 2014. Vol. 1. Р. 011104
Kim S.-S., Chalykh R., Kim H. et al. // Proc. SPIE. 2017. Vol. 10143. P. 1014306. DOI: 10.1117/12.2264043
Golub L., Nystrom G., Herant M., Kalata K., Lovas I. // Nature. 1990. Vol. 344. P. 842--844
Kosugi T., Matsuzaki K., Sakao T. et al. // Sol. Phys. 2007. Vol. 243. N 1. P. 3--17
Pesnell W.D., Thompson B.J., Chamberlin P.C. // Sol. Phys. 2012. Vol. 275. N 1--2. P. 3--15
Kaiser M.L., Kucera T.A., Davila J.M., Cyr O.C.St., Guhathakurta M., Christian E. // Space Sci. Rev. 2008. Vol. 13. N 1--4. P. 5--16
Kobayashi K., Cirtain J., Winebarger A.R. et al. // Sol. Phys. 2014. Vol. 289. N 11. P. 4393--4412
Kirz J., Jacobsen C., Howells M. // Rev. Biophys. 1995. Vol. 28. P. 130
Takman P.A.C., Stollberg H., Johansson J.A. et al. // J. Microsc. 2007. Vol. 226. P. 175--181
Bertilson M., von Hofsten O., Vogt U. et al. // Opt. Express. 2009. Vol. 17. P. 11057--11065
Rehbein S., Heim S., Guttmann P. et al. // Phys. Rev. Lett. 2009. Vol. 103. N 11. P. 110801
Akhsakhalyan A.D., Kluenkov E.B., Lopatin A.Ya. // J. Surf. Invest.-X-Ray. 2017. Vol. 11. N 1. P. 1--19
Admans G., Berkvens P., Kaprolat A., Revol J.-L. ESRF upgrade programme phase II (2015--2022). Technical design study. Imprimerie de Pont de Claix, 2014. 192 p. 8.59 http://www.esrf.eu/Apache\_files/Upgrade/ESRF-orange-book.pdf
Thiess H., Lasser H., Siewert F. // Nucl. Instrum. Meth. A. 2010. Vol. 616. P. 157--161
Смирнов В.А. Обработка оптического стекла. 3-е изд. Л.: Машиностроение, 1980. 183 с
Chkhalo N.I., Kaskov I.A., Malyshev I.V. et al. // Prec. Eng. 2017. Vol. 48. P. 338--346. DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2017.01.004
Brychikhin M.N., Chkhalo N.I., Eikhorn Ya.O. // Appl. Opt. 2016. Vol. 55. N 16. P. 4430--4435
Chkhalo N.I., Malyshev I.V., Pestov A.E. et al. // J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 2018. Vol. 4. N 1. P. 014003-1--014003-9.
Malacara D. Optical shop testing. 2nd ed. NY.: John Wiley\&Sons, Inc., 1992. 792 p
Malyshev I.V., Pestov A.E., Polkovnikov V.N. et al. // J. Surf. Invest.-X-Ray. 2018. Vol. 12. N 6. P. 1253--1263
Dinger U., Eisert F., Lasser H. et al. // Proc. SPIE. 2000. Vol. 4146. P. 35. DOI: http://dx.doi.org/10.1117/12.406674
Окатов М.А., Антонов Э.А., Байгожин А. и др. Справочник технолога-оптика / Под ред. М.А. Окатова. СПб.: Политехника, 2004. 679 с
Blunt R. // Proc. of CEMANTECH Conf. Vancouver, Canada, 2006. P. 59--62
Martinez-Galarce D., Soufli R., Windt D.L. et al. // Opt. Eng. 2013. Vol. 52. N 9. P. 095102-1-14
Kozhevnikov I.V., Pyatakhin M.V. // J. X-Ray Sci. Technol. 2000. Vol. 8. P. 253--275
Asadchikov V.E., Kozhevnikov I.V., Krivonosov Yu.S. et al. // Nucl. Instrum. Meth. A. 2004. Vol. 530. P. 575--595
Barysheva M.M., Chkhalo N.I., Drozdov M.N. et al. // J. X-Ray Sci. Technol. 2019. Vol. 27. N 5. P. 857--870. DOI: http://dx.doi.org/10.3233/XST-190495
Svechnikov M.V., Chkhalo N.I., Toropov M.N. et al. // Opt. Lett. 2015. Vol. 40. N 2. P. 159--162
Griffith J.E., Grigg D.A. // J. Appl. Phys. 1993. Vol. 74. N 9. P. R83--R109
Barysheva M.M., Vainer Yu.A., Gribkov B.A. et al. // Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 2011. Vol. 75. N 1. P. 67--72
Chkhalo N.I., Churin S.A., Pestov A.E. et al. // Opt. Express. 2014. Vol. 22. N 17. P. 20094--20106
Chkhalo N.I., Salashchenko N.N., Zorina M.V. // Rev. Sci. Instrum. 2015. Vol. 86. P. 016102
Chkhalo N.I., Malyshev I.V., Pestov A.E. et al. // Appl. Opt. 2016. Vol. 55. N 3. P. 619--625
Чхало Н.И., Малышев И.В., Пестов А.Е. и др. // УФН. 2020. Т. 190. N 1. С. 74--91. https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038601
Mahajan V.N., Dai G.M. // J. Opt. Soc. Am. A. 2007. Vol. 24. N 9. P. 2994--3016
Svechnikov M.V., Chkhalo N.I., Toropov M.N., Salashchenko N.N. // Opt. Express. 2015. Vol. 23. N 11. P. 14677--14694
Ахсахалян А.А., Гаврилин Д.А., Малышев И.В. и др. // ЖТФ. 2019. Т. 89. Вып. 11. С. 1789--1794
Ziegler E., Peverini L., Vaxelaire N. et al. // Nucl. Instrum. Meth. A. 2010. Vol. 616. N 2--3. P. 188--192
Chen S., Li S., Peng X., Hu H., Tie G. // Appl. Opt. 2015. Vol. 54. N 6. P. 1478--1484
Chkhalo N.I., Churin S.A., Mikhaylenko M.S. et al. // Appl. Opt. 2016. Vol. 55. N 6. P. 1249--1256.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель