Вышедшие номера
Модификация и полировка штриха голографической дифракционной решетки пучком нейтрализованных ионов Ar
Гарахин С.А.1, Зорина М.В.1, Зуев С.Ю.1, Михаленко М.С.1, Пестов А.Е.1, Плешков Р.А.1, Полковников В.Н.1, Салащенко Н.Н.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: GarakhinS@yandex.ru
Поступила в редакцию: 13 апреля 2020 г.
В окончательной редакции: 13 апреля 2020 г.
Принята к печати: 13 апреля 2020 г.
Выставление онлайн: 15 июля 2020 г.

Описан метод увеличения эффективности голографических дифракционных решеток (ГДР), предназначенных для рентгеновского диапазона длин волн. Описана процедура обработки поверхности ГДР пучком ускоренных ионов с целью понижения амплитуды и шероховатости штрихов. Для понижения амплитуды штриха применялись ионы Xe с энергией 600 eV, для ионной полировки --- ионы Ar с энергией 800 eV. Показано увеличение дифракционной эффективности решетки на длине волны 4.47 nm почти в 4 раза после ионной полировки. Ключевые слова: дифракционная решетка, монохроматор Черни-Тернера, ЭУФ диапазон длин волн, ионная полировка поверхности, атомно-силовая микроскопия.
  1. Gullikson E.M., Underwood J.H., Batson P.C., Nikitin V. // J. of x-ray Sci. Technol. 1992. Vol. 3. N 4. P. 283
  2. Loyen L., Boettger T., Braun S., Mai H., Leson A., Scholze F., Tuemmler J., Ulm G., Legall H., Nickles P., Sandner W., Stiel H., Rempel C., Schulze M., Brutscher J., Macco F., Muellender S. // Proc. SPIE. 2003. Vol. 5038. N 11
  3. Miyake A., Miyachi T., Amemiya M., Hasegawa T., Ogushi N., Yamamoto T., Masaki F., Watanabe Y. Proc. SPIE 5037, Emerging Lithographic Technologies VII, 647. 2003
  4. Wanga H., Wanga X., Chena B., Wanga Y., Maoa S., Rena S., Zhoua P., Liua Y., Huob T., Zhoub H. // Optik --- Intern. J. for Light and Electron Optics. 2020. Vol. 204. P. 164213
  5. Scholze F., Bottger T., Enkisch H., Laubis C., Loyen L., Macco F., Schadlich S. // Meas. Sci. Technol. 2007. Vol. 18. P. 126-130
  6. Vishnyakov E.A., Kolesnikov A.O., Kuzin A.A., Negrov D.V., Ragozin E.N., Sasorov P.V., Shatokhin A.N. // Quant. Electron. 2017. Vol. 47. P. 1
  7. Czerny M., Turner A.F. // Zeitschrift fur Physik. 1930. Vol. 61. 
  8. Гарахин С.А., Забродин И.Г., Зуев С.Ю., Каськов И.А., Лопатин А.Я., Нечай А.Н., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Цыбин Н.Н., Чхало Н.И. // Квант. электрон. 2017. Т. 47. N 4. 
  9. Электронный ресурс. Режим доступа: https://shvabe.com/upload/iblock/df0/DO-GDR-O.pdf
  10. Зорина М.В., Зуев С.Ю., Михайленко М.С., Пестов А.Е., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Чхало Н.И. // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. Вып. 16. С. 34-40
  11. Chkhalo N.I., Salashchenko N.N., Zorina M.V. // Rev. Sci. Instrum. 2015. Vol. 86. P. 016102
  12. Ziegler E. et al. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2010. Vol. 616 (2-3). P. 188
  13. Chen S. et al. // Appl. Opt. 2015. Vol. 54. N 6. P. 1478
  14. Chkhalo N.I., Churin S.A., Mikhaylenko M.S., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Zorina M.V. // Appl. Opt. 2016. Vol. 55. P. 6
  15. Chkhalo N.I., Churin S.A., Pestov A.E., Salashchenko N.N., Vainer Y.A., Zorina M.V. // Opt. Express. 2014. Vol. 22. P. 20094
  16. Chkhalo N.I., Kirsanov A.V., Luchinin G.A., Malshakova O.A., Mikhailenko M.S., Pavlikov A.I., Pestov A.E., Zorina M.V. // Appl. Opt. 2018. Vol. 57. N 24. P. 6911-6915
  17. Chkhalo N.I., Mikhailenko M.S., Mil'kov A.V., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Strulya I.L., Zorina M.V., Zuev S.Yu. // Surf. Coat. Technol. 2017. Vol. 311. P. 351-356
  18. Chkhalo N.I., Kaskov I.A., Malyshev I.V., Mikhaylenko M.S., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Toropov M.N., Zabrodin I.G. // Precision Eng. 2017. Vol. 48. 
  19. Bibishkin M.S., Chehonadskih D.P., Chkhalo N.I., Kluyenkov E.B., Pestov A.E., Salashchenko N.N., Shmaenok L.A., Zabrodin I.G., Zuev S.Yu. // Proc. SPIE. 2004. Vol. 5401. P. 8-15

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.