Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2020, выпуск 3 » Статья стр. 419
<<<>>>
Латеральные неоднородности сапфировых пластин по данным рентгеновских и зондовых методов
DOI: 10.21883/JTF.2020.03.48925.431-18
Переводная версия: 10.1134/S1063784220030020
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 18-29-12099 МК
Асадчиков В.Е. 1, Благов А.Е. 1, Буташин А.В. 1, Волков Ю.О. 1, Дерябин А.Н.1, Каневский В.М. 1, Муслимов А.Э. 1, Проценко А.И. 1, Рощин Б.С. 1, Таргонский А.В. 1, Чуховский Ф.Н. 1
1Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, Москва, Россия
Email: asad@crys.ras.ru, amuslimov@mail.ru
Поступила в редакцию: 13 декабря 2018 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2020 г.
PDF версия
Методами рентгеновской дифрактометрии, рентгеновской рефлектометрии, атомно-силовой микроскопии и склерометрии были исследованы пластины R-среза монокристаллов сапфира, выращенных методом Киропулоса и применяемых в качестве подложек для структур кремний-на-сапфире. Установлено, что даже в пределах одной пластины встречаются области с различной степенью совершенства кристаллической структуры. Показано, что результаты четырех методов исследования, построенных на различных физических принципах, находятся в хорошем соответствии и позволяют выявить области несовершенства структуры материала на поверхности пластины. Обоснована целесообразность осуществления комплексного контроля параметров пластин в нескольких областях для снижения брака при применении их в качестве подложек для изготовления электронных устройств. Ключевые слова: R-срез сапфира, рентгеновская дифрактометрия, рентгеновская рефлектометрия, атомно-силовая микроскопия.
  1. Manasevit H.M., Simpson W.I. // J. Appl. Phys. 1964. Vol. 35. P. 1349
  2. Кривоногов С.И., Крухмалев А.А., Нижанковский С.В., Сидельникова Н.С., Вовк Е.А., Будников А.Т., Адонкин Г.Т., Муслимов А.Э. // Кристаллография. 2015. Т. 60. N 1. С. 139
  3. Муслимов А.Э., Исмаилов А.М., Бабаев В.А., Каневский В.М. // Кристаллография. 2019. T. 64. N 5. C. 803
  4. Багдасаров Х.С. Высокотемпературная кристаллизация из расплава. М.: Физматлит, 2004
  5. Harris D.C. // Proc. SPIE. 2009. Vol. 7302. P. 730202
  6. Asadchikov V.E., Butashin A.V., Buzmakov A.V. et al. // Crystal Res. Technology. 2016. Vol. 51. N 4. P. 290
  7. Благов А.Е., Васильев А.Л., Голубева А.С. Иванов И.А., Кондратьев О.А., Писаревский Ю.В., Пресняков М.Ю., Просеков П.А. // Кристаллография. 2014. Т. 59. N 3. С. 356
  8. Писаревский А.В., Таргонский Я.А., Элиович Я.А. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2018. N 1. C. 81
  9. Благов А.Е., Писаревский Ю.В., Таргонский А.В., Элиович Я.А., Ковальчук М.В. // ФТТ. 2017. Т. 59. Вып. 5. С. 947
  10. Ковальчук М.В., Благов А.Е., Куликов А.Г., Марченков Н.В., Писаревский Ю.В. // Кристаллография. 2014. N 6. С. 950
  11. Ковальчук М.В., Ковьев Э.К., Козелихин Ю.М., Миренский А.В., Шилин Ю.Н. // Приборы и техника эксперимента. 1976. С. 194
  12. Ковальчук М.В., Таргонский А.В., Благов А.Е., Занавескина И.С., Писаревский Ю.В. // Кристаллография. 2011. Т. 56. N 5. С. 886
  13. Благов А.Е., Просеков П.А., Таргонский А.В., Элиович Я.А. // Кристаллография. 2015. Т. 60. N 2. С. 189
  14. Kozhevnikov I.V. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. 2003. Vol. A508. P. 519
  15. Асадчиков В.Е., Бабак В.Г., Бузмаков А.В., Дорохин Ю.П., Глаголев И.П., Заневский Ю.В., Зрюев В.Н., Кривоносов Ю.С., Мамич В.Ф., Мосейко Л.А., Мосейко Н.И., Мчедлишвили Б.В., Савельев С.В., Сенин Р.А., Смыков Л.П., Тудоси Г.А., Фатеев В.Д., Черненко С.П., Черёмухина Г.А., Черёмухин Е.А., Чуличков А.И., Шилин Ю.Н., Шишков В.А. // Приборы и техника эксперимента. 2005. N 3. С. 99
  16. Прохоров И.А., Захаров Б.Г., Асадчиков В.Е. // Кристаллография. 2011. Т. 56. N 3. С. 490
  17. Maeda T., Yoshimoto M., Ohnishi T., Lee G.H., Koinuma H. // J. Cryst. Growth. 1997. Vol. 177. Р. 95
  18. Усеинов А., Кравчук К., Русаков А., Маслеников И., Красногоров И. // Наноиндустрия. 2016. N 7. С. 99
  19. Oliver W.C., Paar G.M. // J. Mater. Res. 2004. Vol. 19. P. 3
  20. Муслимов А.О., Каневский В.М. // Фундаментальные проблемы современного материаловедения. 2018. Т. 15. N 3. C. 333--338
  21. Синани А.Б., Дынкин Н.К., Литвинов Л.А., Коневский П.В., Андреев Е.П. // Известия РАН. Серия физическая. 2009. Т. 73. N 10. С. 1463
  22. Sun J., Stirner T., Matthews A. // Surf. Sci. 2007. Vol. 601. P. 1358

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme