Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2019, выпуск 12 » Статья стр. 1891
<<<>>>
Влияние науглероживания вольфрама на активацию газа при синтезе алмазных структур
DOI: 10.21883/JTF.2019.12.48488.127-18
Переводная версия: 10.1134/S1063784219120065
Russian Foundation for Basic Research , 18-08-00295
Емельянов А.А. 1, Плотников М.Ю. 1, Юдин И.Б. 1
1Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
Email: alemelyanov@gmail.com, plotnikov@itp.nsc.ru, yudinib@gmail.com
Поступила в редакцию: 22 марта 2018 г.
В окончательной редакции: 17 апреля 2019 г.
Принята к печати: 7 июня 2019 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.
PDF версия
С целью развития газоструйного метода осаждения алмазных структур исследовано течение смеси водорода с метаном через коаксиальные нагретые вольфрамовые цилиндрические каналы со встроенной в них вольфрамовой спиралью. Основное внимание уделено исследованию науглероживания вольфрамовых поверхностей при газоструйном осаждении и влиянию науглероживания на скорость осаждения и морфологию осаждаемых покрытий. Проведена серия экспериментов по исследованию науглероживания вольфрамовых поверхностей при разных условиях подачи смеси водорода и метана. Проведено прямое статистическое моделирование течения смеси. Определены возможные пути попадания метана и его фрагментов на поверхность спирали. Ключевые слова: газоструйный метод, алмаз, науглероживание вольфрама.
  1. Спицын Б.В., Алексеенко А.А. // Защита металлов. 2007. Т. 43. N 5. С. 456-474. DOI: 10.1134/S0033173207050025 [ Spitsyn B.V., Alexenko A.E. // Protection of Metals. 2007. Vol. 43. N 5. P. 415-431.]
  2. Хмельницкий Р.А. // УФН. 2015. Т. 185. N 2. C. 143-159. DOI: 10.3367/UFNe.0185.201502b.0143 [ Khmelnitskiy R.A. // Phys. Usp. 2015. Vol. 58. P. 134-149.]
  3. Ребров А.К. // УФН. 2017. Т. 187. N 2. C. 193-200. DOI: 10.3367/UFNe.2016.04.037794 [ Rebrov A.K. // Phys. Usp. 2017. Vol. 60. N 2. P. 179-186.]
  4. May P.W. // Phil. Trans. R. Soc. Lond. A. 2000. Vol. 358. P. 473-495. DOI: 10.1098/rsta.2000.0542
  5. Емельянов А.А., Ребров А.К., Юдин И.Б. // ПМТФ. 2014. Т. 55. N 2. С. 94-100. DOI: 10.1134/S0021894414020096 [ Emelyanov A.A., Rebrov A.K., Yudin I.B. // J. Appl. Mech. Tech. Phys. 2014. Vol. 55. N 2. P. 270-276.]
  6. Emelyanov A.A., Rebrov A.K., Yudin I.B. // Phys. Stat. Sol. A. 2014. Vol. 211. N 10. P. 2279-2283. DOI: 10.1002/pssa.201431175
  7. Rebrov A., Emelyanov A., Kosolobov S., Yudin I. // Phys. Status Solidi C. 2015. Vol. 12, N 7. P. 931-933. DOI: 10.1002/pssc.201510043
  8. Rebrov A.K., Andreev M.N., Bieiadovskii T.T., Kubrak K.V. // Surf. Coat. Technol. 2017. Vol. 325. P. 210-218. DOI: 10.1 016/j.surfcoat.2017.06.060
  9. Емельянов А.А., Ребров А.К., Юдин И.Б. // ЖТФ. 2016. Т. 86. Вып. 12. С. 56-59. DOI: 10.1134/S1063784216120124 [ Emel'yanov A.A., Rebrov A.K., Yudin I.B. // Tech. Phys. 2016. Vol. 61. N 12. P. 1821-1824.]
  10. Rebrov A. // Diam Relat Mater. 2017. Vol. 72. P. 20-25. DOI: 10.1016/j.diamond.2016.12.014
  11. Ребров А.К., Емельянов А.А., Плотников М.Ю., Юдин И.Б. // ПМТФ. 2017. Т. 58. N 5 (345). С. 142-150. DOI: 10.1134/S0021894417050145 [ Rebrov A.K., Emel'yanov A.A., Plotnikov M.Yu., Yudin I.B. // Appl. Mech. Tech. Phys. 2017. Vol. 58. N 5. P. 881-888.]
  12. Ребров А.К., Юдин И.Б. // ДАН. 2016. Т. 468. N 1. С. 33-36. DOI:10.1134/S1028335816050025 [ Rebrov A.K., Yudin I.B. // Dokl. Phys. 2016. Vol. 61. N 5. P. 223-226.]
  13. Plotnikov M.Yu., Shkarupa E.V. // Vacuum. 2016. Vol. 129. P. 31-37. DOI: 10.1016/j. vacuum.2016.04.001
  14. Харатьян С.Л., Чатилян А.А., Мержанов А.Г. // Химическая физика. 1987. Т. 6. N 2. C. 225-233. [ Kharatyan S.L., Chatilyan A.A., Merzhanov A.G. // Khim. Fiz. 1987. Vol. 6. N 2. P. 225-233.]
  15. Okoli S., Haubner R., Lux B. // Surf. Coat. Technol. 1991. Vol. 47. N 1-3. P. 585-599. DOI: 10.1016/0257-8972(91)90329-U
  16. Boudart M., Ollis D.F., Harris G.W. // Trans. Faraday Soc. 1969. Vol. 65. P. 519-528
  17. Sommer M., Smith F.W. // J. Mater. Res. 1990. Vol. 5. N 11. P. 2433-2440. DOI: 10.1557/JMR.1990.2433
  18. Winters H.F., Seki H., Rye R.R., Coltrin M.E. // J. Appl. Phys. 1994. Vol. 76. P. 1228-1243. DOI: 10.1063/1.357852
  19. Емельянов А.А., Юдин И.Б., Ребров А.К., Лебедев В.А. В сб. тезисов Всеросс. конф. XXXI "Сибирский теплофизический семинар". 2014. Новосибирск. С. 202
  20. Плотников М.Ю., Шкарупа Е.В. // ПМТФ. 2017. Т. 58. N 3 (343). С. 30-38. DOI: 10.1134/S002189441703004X [ Plotnikov M.Yu., Shkarupa E.V. // Appl. Mech. Tech. Phys. 2017. Vol. 58. N 3. P. 402-409.]
  21. Koschmieder H., Raible V. // Rev. Sci. Instrum. 1975. Vol. 46. P. 536-537. DOI: 10.1063/1.1134251
  22. Ivanov M.S., Rogasinsky S.V. // Russ. J. Numer. Anal. Math. Modelling. 1988. Vol. 3. N 6. P. 453-466. DOI: 10.1515/rnam.1988.3.6.453
  23. Bird G.A. Molecular gas dynamics and the direct simulation of gas flows. Oxford: Clarendon Press, 1994
  24. Morozov A.A., Plotnikov M.Yu., Rebrov A.K., Yudin I.B. In Proc. of 30th Intern. Symp. on Rarefied Gas Dynamics. Canada. 2016. NY.: AIP Conf. Proc. 2016. Vol. 1786. P. 050015. DOI: 10.1063/1.4967565

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme