Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2019, выпуск 11 » Статья стр. 1779
<<<>>>
Влияние барьерных слоев бериллия на свойства многослойных зеркал Mo/Si
DOI: 10.21883/JTF.2019.11.48344.130-19
Переводная версия: 10.1134/S1063784219110318
Зуев С.Ю.1, Плешков Р.С.1, Полковников В.Н.1, Салащенко Н.Н.1, Свечников М.В.1, Чхало Н.И.1, Schafers F.2, Sertsu M.G.2, Sokolov A.2
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Helmholtz-Zentrum Berlin, Berlin, Germany
Email: pleshkov@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 28 марта 2019 г.
В окончательной редакции: 28 марта 2019 г.
Принята к печати: 15 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2019 г.
PDF версия
Приведены результаты исследований многослойных зеркал Mo/Si с межслоевыми прослойками B4C и Be в окрестности длины волны 13.5 nm. Показано, что четырехкомпонентное многослойное зеркало типа Mo/Be/Si/B4C по коэффициенту отражения превосходит на 2% зеркало Mo/Si и на 1.3% зеркало Mo/Si/B4C. Также это зеркало обеспечивает наибольшую спектральную полосу пропускания на полувысоте (Deltaλ1/2 =0.535 nm). Дано объяснение этим эффектам. Ключевые слова: рентгеновское излучение, многослойные зеркала, магнетронное распыление.
  1. Petford-Long A.K., Stearns M.B., Chang C.H. et al. // J. Appl. Phys. 1987. Vol. 61. N 4. P. 1422-1428
  2. Rosen R.S., Vernon S.P., Stearns G. et al. // Appl. Opt. 1993. Vol. 32. N 34. P. 6975-6980
  3. Slaughter J.M., Kearney P.A., Schulze D.W. et al. // Proc. SPIE. 1990. Vol. 1343. P. 73-82
  4. Slaughter J.M., Schulze D.W., Hills C.R. et al. // J. Appl. Phys. 1994. Vol. 76. N 4. P. 2144-2156
  5. Stearns D.G., Rosen R.S., Vernon S.P. // Appl. Opt. 1993. Vol. 32. N 34. P. 6952-6960
  6. Andreev S.S., Gaponova S.V., Gusev S.A. et al. // Thin Solid Films. 2002. Vol. 415. P. 123-132
  7. Braun S., Mai H., Moss M. et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 2002. Vol. 41. P. 4074-4081
  8. Yakshin A.E., van de Kruijs R.W.E., Nedelcu I. et al. // Proc. SPIE. 2007. Vol. 6517. P. 65170I
  9. Chkhalo N.I., Gusev S.A., Nechay A.N. et al. // Opt. Letters. 2017. Vol. 42. N 26. P. 5070-5073
  10. Ахсахалян А.Д., Клюенков Е.Б., Лопатин А.Я. и др. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2017. N 1. С. 5-24
  11. Chkhalo N.I., Pariev D.E., Polkovnikov V.N. et al. // Thin Solid Films. 2017. Vol. 631. P. 106-111
  12. Andreev S.S., Akhsakhalyan A.D., Bibishkin M.A. et al. // Centr. Europ. J. Phys. 2003. Vol. 1. P. 191-209
  13. Schafers F., Bischoff P., Eggenstein F. et al. // J. Synchrotron Radiat. 2016. Vol. 23. P. 67-77
  14. Sokolov A., Bischoff P., Eggenstein F. et al. // Rev. Sci. Instrum. 2016. Vol. 87. P. 052005
  15. Svechnikov M., Pariev D., Nechay A. et al. // J. Appl. Cryst. 2017. Vol. 50. P. 1428-1440

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme