Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2019, выпуск 11 » Статья стр. 1774
<<<>>>
Многослойные зеркала Ag/Y для спектрального диапазона 9-11 nm
DOI: 10.21883/JTF.2019.11.48343.129-19
Переводная версия: 10.1134/S1063784219110161
Квашенников Д.С.1,2, Зуев С.Ю.1, Полковников В.Н.1, Салащенко Н.Н.1, Чхало Н.И.1, Delmotte F.3, Meltchakov E.
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
3Laboratoire Charles Fabry, Institut d'Optique Graduate School, CNRS, Universite Paris-Saclay, Palaiseau Cedex, France
Email: polkovnikov@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 28 марта 2019 г.
В окончательной редакции: 28 марта 2019 г.
Принята к печати: 15 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2019 г.
PDF версия
Изучены многослойные зеркала Ag/Y, предназначенные для работы в диапазоне длин волн 9-11 nm. Определены параметры таких зеркал, в частности, толщины переходных слоев. Показана эффективность применения барьерных слоев B4C и Si. Показано, что структуры типа Ag/Y и Ag/Y с барьерными слоями B4C обладают плохой временной стабильностью свойств. Наибольший измеренный коэффициент отражения на длине волны 9.34 nm составил 18% для структуры типа Ag/Si/Y. Эти же структуры обладают наилучшей временной стабильностью. Ключевые слова: рентгеновское излучение, многослойные зеркала, периодические зеркала, проекционная литография.
  1. Marti nez-Galarce D., Soufli R., Windt D.L., Bruner M. et al. // Opt. Eng. 2013. Vol. 59. N 2. P. 095102-1-095102-15
  2. Chkhalo N.I., Garakhin S.A., Lopatin A.Ya., Nechay A.N., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Tsybin N.N., Zuev S.Yu. // AIP Adv. 2018. Vol. 8. P. 105003
  3. Вишняков Е.А., Каменец Ф.Ф., Кондратенко В.В., Лугинин М.С., Панченко А.В., Першин Ю.П., Пирожков А.С., Рагозин Е.Н. // Квант. электрон. 2012. Т. 42. N 2. С. 143-152
  4. Wang Z., Wang H., Zhu J. et al. // Appl. Phys. Lett. 2006. Vol. 89. P. 241120
  5. Gupta P., Tenka T.P., Rai S. et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2007. Vol. 40. P. 6684
  6. Квашенников Д.С., Вайнер Ю.А., Зуев С.Ю., Полковников В.Н. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2019. N 3. С. 14-18
  7. Windt D.L., Gullikson E.M. // Appl. Opt. 2015. Vol. 54. N 18. P. 5850
  8. Xu D., Huang Q., Wang Y. et al. // Opt. Exp. 2015. Vol. 23. N 26. P. 33018
  9. Montcalm C., Kearney P.A., Slaughter J.M., Sullivan B.T., Chaker M., Pepin H., Falco C.M. // Appl. Opt. 1996. Vol. 35. N 25. P. 5134-5147
  10. Забродин И.Г., Закалов Б.А., Каськов И.А., Клюенков Е.Б., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Стариков С.Д., Суслов Л.А. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2013. N 7. С. 37-39
  11. Andreev S.S., Akhsakhalyan A.D., Bibishkin M.A. et al. // Centr. Europ. J. Phys. 2003. Vol. 1. P. 191
  12. Svechnikov M., Pariev D., Nechay A. et al. // J. Appl. Cryst. 2017. Vol. 50. P. 1428
  13. Зуев С.Ю., Кузин С.В., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н. // Известия РАН. Серия физическая. 2010. Т. 74. N 1. С. 58-61
  14. Chkhalo N.I., Pariev D.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Shaposhnikov R.A., Stroulea I.L., Svechnikov M.V., Vainer Yu.A., Zuev S.Yu. // Thin Solid Films. 2017. Vol. 631. P. 106-111
  15. Svechnikov M.V., Chkhalo N.I., Gusev S.A., Nechay A.N., Pariev D.E., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Tatarskiy D.A., Salashchenko N.N., Schafers F., Sertsu M.G., Sokolov A., Vainer Yu.A., Zorina M.V. // Opt. Express. 2018. Vol. 26. N 26. P. 33718-33731
  16. Zhong Q., Zhang Z., Qi R., Li J., Wang Z., Guen K.L., Andre J.-M., Jonnard P. // Opt. Express. 2018. Vol. 21. N 12. P. 14399-14408

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme