Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Туннельная эмиссия электронов из наноструктурированных кремниевых катодных матриц с фтор-углеродным покрытием
Переводная версия: 10.1134/S1063784219060240 
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия 
Email: pirpc@yandex.ru
Поступила в редакцию: 14 июля 2018 г.
В окончательной редакции: 1 ноября 2018 г.
Принята к печати: 1 ноября 2018 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2019 г.
Исследованы закономерности изменений морфологических и автоэмиссионных характеристик поверхностно структурированных кремниевых пластин различных типов проводимости, полученных с использованием травления во фторуглеродной плазме и осаждения субнаноразмерных островковых углеродных масочных покрытий. Показано, что поверхностное структурирование с применением фторуглеродной плазмы позволяет получать заданные токи автоэмиссии при различных напряженностях внешних электрических полей. Рассмотрены физико-химические модели механизмов автоэмиссии и разрушения поверхностно модифицированных многоострийных кремниевых катодных матриц.
- Marcus R.B., Ravi T.S., Gmitter T. et al. // Appl. Phys. Lett. 1990. Vol. 56. N 3. P. 236-238
- Гуляев Ю.B., Абаньшин Н.П., Горфинкель Б.И., Морев С.П., Резчиков А.Ф., Синицын Н.И., Якунин А.Н. // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39. Вып. 11. С. 63-70
- Яфаров Р.К. // ФТП. 2014. Т. 48. Вып. 4. С. 529-534. DOI: 10.1134/S1063782614040277
- Оура К., Лифшиц В.Г., Саранин А.А. и др. Введение в физику поверхности. М.: Наука, 2006. С. 490
- Яфаров Р.К., Шаныгин В.Я. // ФТП. 2017. Т. 51. Вып. 4. С. 558-562. DOI: 10.21883/JTF.2019.06.47646.274-18
- Fowler R.H., Nordheim L.W. // Proc. R. Soc. London. A. 1928. Vol. 119. P. 173
- Усанов Д.А., Яфаров Р.К. Методы получения и исследования самоорганизующихся наноструктур на основе кремния и углерода. Саратов: Сар. ГУ, 2011. 126 с
- Яфаров Р.К. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий. М.: Физматлит, 2009. 216 с
- Давидович М.В., Яфаров Р.К. // ЖТФ. 2018. Т. 88. Вып. 2. С. 283-293. DOI: 10.1134/S106378421802010X
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
