"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Туннельная эмиссия электронов из наноструктурированных кремниевых катодных матриц с фтор-углеродным покрытием
Переводная версия: 10.1134/S1063784219060240
Яфаров Р.К.1
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
Email: pirpc@yandex.ru
Поступила в редакцию: 14 июля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2019 г.

Исследованы закономерности изменений морфологических и автоэмиссионных характеристик поверхностно структурированных кремниевых пластин различных типов проводимости, полученных с использованием травления во фторуглеродной плазме и осаждения субнаноразмерных островковых углеродных масочных покрытий. Показано, что поверхностное структурирование с применением фторуглеродной плазмы позволяет получать заданные токи автоэмиссии при различных напряженностях внешних электрических полей. Рассмотрены физико-химические модели механизмов автоэмиссии и разрушения поверхностно модифицированных многоострийных кремниевых катодных матриц. -18
  • Marcus R.B., Ravi T.S., Gmitter T. et al. // Appl. Phys. Lett. 1990. Vol. 56. N 3. P. 236-238
  • Гуляев Ю.B., Абаньшин Н.П., Горфинкель Б.И., Морев С.П., Резчиков А.Ф., Синицын Н.И., Якунин А.Н. // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39. Вып. 11. С. 63-70
  • Яфаров Р.К. // ФТП. 2014. Т. 48. Вып. 4. С. 529-534. DOI: 10.1134/S1063782614040277
  • Оура К., Лифшиц В.Г., Саранин А.А. и др. Введение в физику поверхности. М.: Наука, 2006. С. 490
  • Яфаров Р.К., Шаныгин В.Я. // ФТП. 2017. Т. 51. Вып. 4. С. 558-562. DOI: 10.21883/JTF.2019.06.47646.274-18
  • Fowler R.H., Nordheim L.W. // Proc. R. Soc. London. A. 1928. Vol. 119. P. 173
  • Усанов Д.А., Яфаров Р.К. Методы получения и исследования самоорганизующихся наноструктур на основе кремния и углерода. Саратов: Сар. ГУ, 2011. 126 с
  • Яфаров Р.К. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий. М.: Физматлит, 2009. 216 с
  • Давидович М.В., Яфаров Р.К. // ЖТФ. 2018. Т. 88. Вып. 2. С. 283-293. DOI: 10.1134/S106378421802010X
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.