Высокоэффективный источник электронов с полым катодом для технологий осаждения тонких пленок и обработки поверхностей при форвакуумных давлениях
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Российский фонд фундаментальных исследований», р_а - Конкурс проектов 2017 года фундаментальных научных исследований, проводимый РФФИ и субъектами Российской Федерации, 17-48-540665 р_а
Министерство образования, науки и инновационной политики Новосибирской области, р_а - Конкурс проектов 2017 года фундаментальных научных исследований, проводимый РФФИ и субъектами Российской Федерации, 17-48-540665 р_а
Щукин В.Г.
1, Константинов В.О.
1, Морозов В.С.
11Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
Email: shchukin@itp.nsc.ru, konstantinov@itp.nsc.ru, morozov.vova.88@yandex.ru
Поступила в редакцию: 3 ноября 2017 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2018 г.
Показано, что в форвакуумном диапазоне давлений в источниках электронов с полым катодом возможно получать низкоэнергетические пучки с высоким КПД в широком диапазоне токов пучка. Путем вариации геометрических параметров электродной системы и электромагнитной оптики источника электронов удалось достичь КПД на уровне 0.9 при ускоряющем потенциале 1 kV и токах пучка от 100 до 300 mA. Определены параметры, наиболее сильно влияющие на КПД и стабильность работы источника электронов с полым катодом.
- Sharafutdinov R.G., Khmel S.Ya., Shchukin V.G. et al. // Solar Energy Materials \& Solar Cells. 2005. Vol. 89. N 20--3. P. 99--111
- Anders A. // Surface \& Coatings Technology. 2005. Vol. 200. P. 1893--1906
- Астрелин В.Т., Бурдаков А.В., Деревянкин Г.Е. и др. // Плазменная эмиссионная электроника: Труды III Международного крейнделевского семинара. Улан-Удэ, 2009. C. 74--80
- Кандауров И.В., Куркучеков В.В., Трунев Ю.А. // Плазменная эмиссионная электроника: Труды IV Международного крейнделевского семинара. Улан-Удэ, 2012. С. 67--73
- Волков А.А., Пчёлкин Р.Д., Ремпе Н.Г. // Сварочное производство. 2001. N 1. С. 23--28
- Васильков В.И., Кислицкий А.А., Онучин Н.В. и др. // Автоматическая сварка. 2002. N 6. C. 38--40
- Bugaev A.S., Vizir A.V., Gushenets V. et.al. // Laser and Particle Beams. 2003. Vol. 21. N 2. P. 139--156
- Панин В.Е., Белюк С.И., Дураков В.Г. и др. // Сварочное производство. 2000. N 2. С. 34--38
- Тихоновский А.Л., Тур А.А. Рафинирование металлов и сплавов методом электронно-лучевой плавки. Киев: Наукова думка, 1984. 272 с
- Окс Е.М. Источники электронов с плазменным катодом: физика, техника, применение. Томск: Изд-во НТЛ, 2005. 216 с
- Konstantinov V.O., Sharafutdinov R.G., Karsten V.M. // Contributed papers of V International Conference on Plasma Physics and Plasma Technology. 2006. Minsk, Belarus. Vol. 1. P. 276--279
- Груздев В.А., Залесский В.Г. // Прикладная физика. 2009. N 5. P. 82--90
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
