Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Формирование микротурбин методом прямой лазерной записи по фоторезисту
Переводная версия: 10.1134/S1063784218060208 
1Институт систем обработки изображений РАН, Самара, Россия 
2Самарский государственный аэрокосмический университет им. акад. С.П. Королева (Национальный исследовательский университет), Самара, Россия
2Самарский государственный аэрокосмический университет им. акад. С.П. Королева (Национальный исследовательский университет), Самара, Россия
Email: sofi@smr.ru
Поступила в редакцию: 9 марта 2016 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2018 г.
Описан метод формирования микромеханических элементов для приема вращательного момента (микротурбин) от вихревых световых пучков. Приведены результаты экспериментального изготовления большого количества микротурбин. Приводятся результаты измерения формы микротурбин на оптическом микроскопе, интерферометре белого света ZYGO и электронном микроскопе.
- Higurashi E., Ukita H., Tanaka H., Ohguchi O. // Appl. Phys. Lett. 1994. Vol. 64. P. 2209--2210
- Baldeck P., Lina Ch.-L., Lina Yu-Sh., Linb Ch.-Te, Chungb T.-T., Bouriauc M., Vitrantd G. // Proc. SPIE. 2011. Vol. 8097. P. 809713
- Liu Yi-J., Lee Yi-H., Lin Yu-Sh., Tsou Ch., Baldeck P.L., Lin Ch.-L. // Actuators. 2013. Vol. 2. N 2. P. 19--26
- Lina Ch.-L., Lina Yu-Sh, Baldeck P. // Micromachines. 2015. Vol. 6. P. 674--683
- Ikegami1 T., Ozawa1 R., Stocker M.P., Fourkas J.T., Maruo S. // JLMN-Journal of Laser Micro/Nanoengineering. 2013. Vol. 8. N 1. P. 6--10
- Ikegami1 T., Ozawa1 R., Stocker M.P., Fourkas J.T., Maruo S. // 16th Intern. Conf. on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences. 2012. Vol. 5. P. 139
- Knoener G., Parkin S., Nieminen T.A., Loke V.L.Y., Heckenberg N.R., Rubinsztein-Dunlop H. // Opt. Expres. 2007. Vol. 15. N 9. P. 5521--5530
- Maruo S., Takaura A., Saito Y. // Opt. Express. 2009. Vol. 17. N 21. P. 18525--32
- Waits C.M., Morgan B., Kastantin M., Ghodssi R. // Sensors and Actuators A: Phys. 2005. Vol. 119. N 1. P. 245--253
- Frechette L.G., Jacobson S.A., Breuer K.S., Ehrich F.F., Ghodssi R., Khanna R., Chee Wei Wong, Zhang Xin, Schmidt M.A., Epstein A.H. // J. Microelectromechanical Systems. 2005. Vol. 14. N 1. P. 141--152
- Frechette L.G., Jacobson S.A., Breuer1 K.S., Ehrich F.F., Ghodssi R., Khanna R., Chee Wei Wong, Xin Zhang, Schmidt M.A., Epstein A.H. // Sol.-Stat. Sensor and Actuator Workshop (TRF Cat. No.00TRF-0001). 2000. P. 43--47
- Werner Brenner, Franz Suemecz, Aleksandar Vujanic. // Proc. IEEE. 2002. Vol. 2. P. 1757--1761
- Friese M.E.J., Rubinsztein-Dunlop H., Gold J., Hagberg P., Hanstorp D. // Appl. Phys. Lett. Vol. 78. N 4. P. 547--549
- Xiao-Feng Lin, Guo-Qing Hu, Qi-Dai Chen, Li-Gang Niu, Qi-Song Li, Ostendorf A., Hong-Bo. // Appl. Phys. Lett. 2012. Vol. 101. P. 113901
- Zhizhchenko A.Y., Vitrik O.B., Kulchin Y.N., Mirochnik A.G., Fedorenko E.V., Lv G., Shalagin A.M., Korolkov V.P. // Opt. Communicat. 2013. Vol. 311. P. 364--367
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
