Влияние режимов термообработки на структуру и оптические свойства кристаллического кремния с нанокристаллами GaSb, сформированными высокодозной ионной имплантацией
Комаров Ф.Ф., Исмайлова Г.А., Мильчанин О.В., Пархоменко И.Н., Жусипбекова Ф.Б., Яр-Мухамедова Г.Ш.1
1Казахский национальный университет им. аль Фараби, Алматы, Казахстан
Email: Zh.fariza@mail.ru
Поступила в редакцию: 24 октября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2015 г.
Методами Резерфордовского обратного рассеяния и просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ) исследованы распределение внедренных примесей и структура нанокомпозитов "GaSb+Si" в зависимости от режимов ионной имплантации и проведенных термообработок. Показано, что "горячая" имплантация и отжиг приводят к заметным потерям примеси и сдвигу максимумов концентраций внедренных атомов к поверхности. Данные ПЭМ подтвердили формирование нанокристаллов размером от 20 до 100 nm, а также дефектов дислокационного типа и остаточных механических напряжений. С использованием метода спектроскопии комбинационного рассеяния света (КРС) проведены исследования структуры и фазового состава экспериментальных образцов кремния, содержащих различные нанокристаллические включения.
- Arakawa Y., Sakaki H. // Appl. Phys. Lett. 1982. Vol. 40 (11). P. 939-943
- Герасименко Н., Пархоменько Ю. Мир материалов и нанотехнологий. Кремний --- материал наноэлектроники. М.: Техносфера, 2007. 352 c
- Komarov F., Vlasukova L., Wesch W., Kamarou A., Milchanin O., Grechnyi S., Mudryi A., Ivaniukovich A. // Nucl. Instr. Meth. 2008. Vol. B266. P. 3557-3564
- Komarov F., Vlasukova L., Milchanin O., Wesch W., Wendler E., Zuk J. // Mater. Sci. Engineer. B. 2013. Vol. 178. N 1. P. 1169-1177
- Комаров Ф.Ф., Комаров А.Ф. Физические процессы при ионной имплантации в твердые тела. Минск: Технопринт, 2001. 394 с
- Соболев Н.А., Емельянов А.М., Забродская В.В., Суханов Р.Л., Шеек Е.И. // ФТП. Т. 41. N 5. C. 635-638
- Соболев Н.А., Емельянов А.М., Сахаров В.И., Серенков И.Т., Шеек Е.И., Тетельбаум Д.И. // ФТП. Т. 41. Вып. 5. С. 555-557
- Milosavljevic' M., Lourenco M.A., Shao G., Gwilliam R.M., Homewood K.P. // Nucl. Instr. Meth. 2008. Vol. B266. P. 2470-2474
- Соболев Н.А. // Тезисы докл. V Всероссийской конф. "Физические и физико-химические основы ионной имплантации" (27-31 октября 2014 г., Нижний Новгород) Нижний Новгород: ННГУ им. Н.И. Лобачевского, 2014. С. 59-60
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук