Вышедшие номера
Влияние режимов термообработки на структуру и оптические свойства кристаллического кремния с нанокристаллами GaSb, сформированными высокодозной ионной имплантацией
Комаров Ф.Ф., Исмайлова Г.А., Мильчанин О.В., Пархоменко И.Н., Жусипбекова Ф.Б., Яр-Мухамедова Г.Ш.1
1Казахский национальный университет им. аль Фараби, Алматы, Казахстан
Email: Zh.fariza@mail.ru
Поступила в редакцию: 24 октября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2015 г.

Методами Резерфордовского обратного рассеяния и просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ) исследованы распределение внедренных примесей и структура нанокомпозитов "GaSb+Si" в зависимости от режимов ионной имплантации и проведенных термообработок. Показано, что "горячая" имплантация и отжиг приводят к заметным потерям примеси и сдвигу максимумов концентраций внедренных атомов к поверхности. Данные ПЭМ подтвердили формирование нанокристаллов размером от 20 до 100 nm, а также дефектов дислокационного типа и остаточных механических напряжений. С использованием метода спектроскопии комбинационного рассеяния света (КРС) проведены исследования структуры и фазового состава экспериментальных образцов кремния, содержащих различные нанокристаллические включения.