Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Термоокислительная деструкция пленок молибдена при лазерной абляции
1Институт систем обработки изображений РАН, Самара, Россия 
2Самарский государственный аэрокосмический университет им. акад. С.П. Королева (Национальный исследовательский университет), Самара, Россия
2Самарский государственный аэрокосмический университет им. акад. С.П. Королева (Национальный исследовательский университет), Самара, Россия
Email: sergpolet@gmail.com
Поступила в редакцию: 30 апреля 2014 г.
Выставление онлайн: 20 января 2015 г.
Обсуждены проблемы лазерной абляции пленок молибдена, имеющие место при формировании топологического рисунка контактных масок. Описан механизм термоокислительной деструкции тонких пленок молибдена при воздействии лазерного излучения с повышенной плотностью мощности. Представлены результаты теоретических выкладок в сопоставлении с практическими данными о химическом составе оксида молибдена, полученными методом комбинационного рассеяния.
- Вейко В.П., Корольков В.И., Полещук А.Г., Саметов А.Р., Шахно Е.А., Ярчук М.В. // Квант. электрон. 2011. Т. 41. Вып. 7. С. 631--636
- Methods for Computer Design of Diffractive Optical Elements / Ed. by V.A. Soifer. A Wiley Interscience Publication. John Wiley \& Sons, Inc., 2002. P. 267--345
- Вейко В.П. Опорный конспект лекций по курсу "Физико-технические основы лазерных технологий". СПб.: СПбГУ ИТМО, 2005. 110 с
- Wang X.C., Wu L.Y.L., Shao Q., Zheng H.Y. // SIMTech Technical Reports. 2009. Vol. 10(4). P. 203--208
- Borowiec A., Haugen H.K. // Appl. Phys. A. 2004. Vol. 79. P. 521--529
- Krause S., Miclea P.T., Steudel F., Schweizer S., Seifert G. // EPJ Photovoltaics. 2013. Vol. 4(40601). P. 1--5
- Zoppel S., Huber H., Reider G.A. // Appl. Phys. A. 2007. Vol. 89. P. 161--163
- Tan B., Dalili A., Venkatakrishnan K. // Appl. Phys. A. 2009. Vol. 95. P. 537--545
- Heise G., Englmaier M., Hellwig C., Kuznicki T., Sarrach S., Huber H.P. // Appl. Phys. A: Materials Science \& Processing. 2011. Vol. 102. N 1. P. 173--178
- Poleshchuk A.G., Churin E.G., Koronkevich V.P., Korolkov V.P., Kharissov A.A., Cherkashin V.V., Kiryanov V.P., Kiryanov A.V., Kokarev S.A., Verhoglyad A.G. // Appl. Opt. 1999. Vol. 38. N 8. P. 1295--1301
- Волков А.В., Моисеев О.Ю., Полетаев С.Д. // Компьютерная оптика. 2013. Т. 37. Вып. 2. С. 220--225
- Григорьянц А.Г., Шиганов И.Н. Лазерная сварка металлов. М.: Высшая школа, 1988. 207 с
- Jorgens R., Gorbunov A., Pompe W. // Patent DE19544295A1. G02B 5/18. 21/00
- Янке Е., Эмде Ф., Лёш Ф. Специальные функции. М.: Наука, 1964. 344 с
- Рабинович В.А., Хавин З.Я. Краткий химический справочник. Л.: Химия, 1977. 170 с
- Григорьянц А.Г., Соколов А.А. Лазерная резка металлов. М.: Высшая школа, 1988. 127 с
- Ковалев Н.А. Прикладная механика. М.: Высшая школа, 1982. 400 с
- Гладышев Е., Куценко С., Храмов В. // Фотоника. 2009. Вып. 6. С. 22--26
- Соловьёв М.Е., Соловьёв М.М. Компьютерная химия. М.: СОЛОН-Пресс, 2005. 536 с
- Goldberg S., Johnston C.T., Suarez D.L., Sarrach S., Lesch S.M. // Developments In Earth and Environmental Sciences. 2008. Vol. 7
- Бобович Я.С., Тулуп Т.П. // УФН. 1958. Т. LXVI. Вып. 1. С. 3--41
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
