Вышедшие номера
Термоокислительная деструкция пленок молибдена при лазерной абляции
Волков А.В., Казанский Н.Л., Моисеев О.Ю., Полетаев С.Д.1,2
1Институт систем обработки изображений РАН, Самара, Россия
2Самарский государственный аэрокосмический университет им. акад. С.П. Королева (Национальный исследовательский университет), Самара, Россия
Email: sergpolet@gmail.com
Поступила в редакцию: 30 апреля 2014 г.
Выставление онлайн: 20 января 2015 г.

Обсуждены проблемы лазерной абляции пленок молибдена, имеющие место при формировании топологического рисунка контактных масок. Описан механизм термоокислительной деструкции тонких пленок молибдена при воздействии лазерного излучения с повышенной плотностью мощности. Представлены результаты теоретических выкладок в сопоставлении с практическими данными о химическом составе оксида молибдена, полученными методом комбинационного рассеяния.