Магнетронное напыление прозрачных электродов ITO из металлической мишени на холодную подложку
Амосова Л.П.1, Исаев М.В.1
1Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Email: l_amosova@mail.ru
Поступила в редакцию: 6 февраля 2014 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2014 г.
Магнетронным напылением из металлической мишени на холодную подложку без ионной стимуляции процесса и без последующего отжига получены слои ITO с поверхностным сопротивлением 50 Omega/# и пропусканием в видимой области спектра до 100%. Показано, что указанные параметры слоев могут быть достигнуты в достаточно широком диапазоне парциального давления кислорода регулировкой скорости напыления и в достаточно большом диапазоне скоростей напыления регулировкой давления кислорода. Построена универсальная взаимно однозначная зависимость скорости напыления от парциального давления кислорода.
- Westwood W.D. // Physics of Thin Films. 1989. Vol. 14
- Горин А.В. // Тр. Междунар. постоянно действующего научно-технического семинара "Электровакуумная техника и технология". НИИ ЭМ им. Н.Э. Баумана. 2012. Т. 4. С. 97 - 100
- Бородин А.Н., Петров А.С. // Патент RU 2241065, C2, заявка от 20.07.2004
- Титомир А.К., Сушков В.Я., Духопельников Д.В. // Патент RU 2112076, C23C14/35, C23C14/08, заявка от 22.05.1997
- Крылов П.Н., Закирова Р.М., Федотова И.В. // ФТП. 2013. Т. 47. Вып. 10. С. 1421 - 1424
- Schiller S., Goedicke K., Reschke J. et al. // Surf. and Coat. Technol. 1993. V. 61. P. 331 - 337
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
