"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Распределения кластеров по зарядам и размерам при ионном распылении металла
Матвеев В.И.1
1Поморский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Архангельск, Россия
Email: matveev.victor@pomorsu.ru
Поступила в редакцию: 24 сентября 2001 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2002 г.

Развито описание распыления металла в виде нейтральных и заряженных больших кластеров с числом атомов N>=q 5 при ионной бомбардировке, основанное на простых физических предположениях и находящееся в согласии с экспериментом. Результаты представлены в виде простых формул. В качестве примера проведены расчеты относительных масс-спектров нейтральных и однозарядных кластеров при ионном распылении тантала, а также коэффициентов ионизации кластеров серебра.
  • Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел. Сб. статей. Составитель Е.С. Машкова М.: Мир, 1989. 399 с
  • Andersen H.H., K. Dan // Vidensk. Selsk. Mat. Fys. Medd. 1993. Vol. 43. P. 127
  • Urbassek H.M., Hofer W.O., K. Dan // Ibid
  • Баранов И.А., Мартыненко Ю.В., Цепелевич С.О., Явлинский Ю.Н. // УФН. 1988. Т. 156. С. 478
  • Распыление под действием бомбардировки частицами / Под ред. Р. Бериша, К. Виттмака. Вып. 3. М.: Мир, 1998. 551 с
  • Wucher A., Wahl W. // Nucl. Instrum. Meth. 1996. Vol. B 115. P. 581
  • Coon S.R., Calaway W.F., Pellin M.Y. // Nucl. Instrum. Meth. 1994. Vol. B 90. P. 518
  • Staudt C., Heinrich R., Wucher A. // Nucl. Instrum. Meth. 2000. Vol. B 164--165. P. 677
  • Wucher A., Garrison B.Y. // J. Chem. Phys. 1996. Vol. 105. P. 5999
  • Brunelle A., Della-Negra S., Deprun C. et al. // Intern. J. Mass. Spectr. and Ion. Proc. 1997. Vol. 164. P. 193
  • Colla Th.J., Urbassek H.M., Wucher A. et al. // Nucl. Instrum. Meth. 1998. Vol. B 143. P. 284
  • Kissel R., Urbussek H.M. // Nucl. Instrum. Meth. 2001. Vol. B 180. P. 293
  • Wahl W., Wucher A. // Nucl. Instrum. Meth. 1994. Vol. B 94. P. 36
  • Ferleger V.Kh., Medvedeva M.B., Wojciechowski I.A. // Nucl. Instrum. Meth. 1997. Vol. B 125. P. 214
  • Wojciechowski I.A., Bertrand P., Medvedeva M.V., Ferleger V.Kh. // Nucl. Instrum. Meth. 2001. Vol. B 179. P. 32
  • Staudt C., Heinrich R., Mazarov P. et al. // Nucl. Instrum. Meth. 2000. Vol. B 164--165. P. 715
  • Матвеев В.И., Хабибуллаев П.К. // ДАН. 1998. Т. 362. С. 191
  • Матвеев В.И., Белых С.Ф., Веревкин И.В. // ЖТФ. 1999. Т. 69. С. 64
  • Belykh S.G., Matveev V.I., Veryovkin I.V. et al. // Nucl. Instrum. Meth. 1999. Vol. B 155. P. 409
  • Матвеев В.И. // ЖТФ. 2000. Т. 70. С. 108
  • Матвеев В.И. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. С. 14
  • Ферми Э. Научные труды. Т. 1. М.: Наука, 1971. 818 с
  • Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Квантовая механика. М.: Наука, 1989. 768 с
  • Добрецов Л.Н., Гомоюнова М.В. Эмиссионная электроника. М.: Наука, 1966. 564 с
  • Belykh S.G., Rasulev U.Kh., Samartsev A.V. et al. // Nucl. Instrum. Meth. 1998. Vol. B 136--138. P. 773
  • Киттель Ч. Введение в физику твердого тела. М.: Наука, 1978. 792 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.