Вышедшие номера
Моделирование процесса разложения силана в высокочастотной плазме
Струнин В.И.1, Ляхов А.А.1, Худайбергенов Г.Ж.1, Шкуркин В.В.1
1Омский государственный университет, Омск, Россия
Email: strunin@omsu.omskreg.ru
Поступила в редакцию: 3 августа 2001 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2002 г.

Построена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной аргоновой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов разложения SiH4 и концентрации продуктов синтеза (высших силанов), проанализирована роль метастабильных атомов аргона в образовании радикала SiH3 и высших силанов.