Получение тонких пленок полупроводниковых соединений с применением капиллярных испарителей
Грицюк Б.Н., Ляхов А.А., Мельничук С.В., Стребежев В.Н.
Поступила в редакцию: 22 сентября 2000 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2001 г.
Представлены экспериментальные результаты распределения толщины пленки разлагающихся полупроводниковых соединений, полученных с использованием капиллярных испарителей. В приближении вязкого потока получено выражение, описывающее толщину пленки на поверхности подложки в зависимости от расстояния от края капилляра до площадки осаждения и угла между осью капилляра и направлением осаждения.
- Буккер Ю.М., Валеев А.С., Ванин А.А. и др. А.С. N 659642. БИ. 1979. N 16. 74
- Кузнецов В.М. // Вакуумная техника. ВИНИТИ, 1977. N 8. 16 с
- Ченов Б.А., Олеськив С.П., Олеськив Б.С. // Физическая электроника. Львов: Изд-во Львовского госуниверситета, 1989. Т. 38. С. 66
- Долидзе Г.Ф., Якашвили Д.В., Вигдорович В.Н., Ухлинов Г.А. А.С. N 544711. БИ. 1977. N 4. 74 с
- Грицюк Б.Н., Стребежев В.Н. // ПТЭ. 1997. Т. 5. С. 157
- Грицюк Б.Н., Стребежев В.Н. // Вопросы атомной науки и техники. Харьков: ВАНТ, 1998. 207 с
- Технология тонких пленок. Справочник / Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. М.: Сов. радио, 1977. Т. 1. 604 с
- Holland L., Steckelmacher W. // Vacuum. 1952. Vol. 11. N 4. P. 346
- Langhaar H.L. // J. Appl. Mechan., 1942. Vol. 9. P. A-55
- Дэшман. Научные основы вакуумной техники. М.: Мир, 1960. 715 с
- Бараов С.И., Главацкий И.В., Збигли К.Р., Чебан А.Г. // Термоэлектрические приборы и пленки. Л., 1976. 194 с
- Masamu Komatsu, Noriaki Matsuda, Yasube Kashiwaba, Hiroshi Saito // Mat. Bes. Bull. 1978. Vol. 13. P. 835
- Грицюк Б.Н., Ничей С.В. // ПТЭ. 1997. N 2. С. 114
- Грицюк Б.Н., Золотухина В.В., Раренко И.М., Стребежев В.Н. // Физическая электроника. Львов: Изд-во Львовского госуниверситета, 1989. Т. 39. С. 19
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук