"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Исследования термической стабильности и радиационной стойкости диодов Шоттки на основе карбида кремния
Афанасьев А.В.1, Ильин В.А.1, Казарин И.Г.1, Петров А.А.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: luch@cm.etu.spb.ru
Поступила в редакцию: 21 июля 2000 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2001 г.

Изготовлены диодные структуры с барьером Шоттки Pt--W--Cr--SiC, сохраняющие свои электрофизические параметры до температуры 450oC. Методом электронной оже-спектроскопии показано, что термическая стойкость обусловлена использованием многослойной металлической композиции, обеспечивающей стабильность границы раздела металл--карбид кремния. Проведены радиационные испытания полученных поверхностно-барьерных структур. Экспериментально установлено, что в диапазоне концентраций Nd-Na=1016-5· 1017 cm-3 при комплексном воздействии быстрыми нейтронами и сопутствующим gamma-излучением дозами 4.42· 1015 neutr./cm2 и 8.67· 105 R соответственно необратимые изменения характеристик барьерных структур происходят при концентрациях Nd-Na=< 8· 1016 cm-3. При этом деградация характеристик тем больше, чем меньше уровень легирования материала.
  1. Waldrop J.R., Grant R.W. // Appl. Phys. Lett. 1993. Vol. 62. P. 2685--2687
  2. Веренчикова Р.Г., Санкин В.И. // ФТП. 1988. Т. 22. Вып. 9. С. 1692--1695
  3. Porter L.M., Davis R.F. // Second International High Temperature Conf. Charlotte (North Carolina, USA), 1994. Vol. 1. P. XIII-3--XIII-8
  4. Аникин М.М., Андреев А.Н., Лебедев А.А. и др. // ФТП. 1991. Т. 25. Вып. 2. С. 328--333
  5. Балландович В.С., Лучинин В.В., Петров А.А. и др. // Петербургский журнал электроники. 1994. Т. 2. С. 47--51
  6. Il'in V.A., Luchinin V.V., Petrov A.A. et al. // Mat. Science and Eng. 1997. Vol. B46. P. 383--386
  7. Lebedev A.A., Davydov D.V., Savkina N.S. at al. // Mat. Science and Eng. 1999. Vol. B61--62. P. 165--169
  8. Пашкин В.А., Ширяев А.М. // Поверхность. 1992. N 3. С. 106--108
  9. Il'in V.A., Ballandovich V.S. // Defect and Diffusion Forum. Switzerland: Trans. Tech. Publ., 1993. Vol. 103--105. P. 633--644

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.