Конденсация в импульсных свободных струях смеси моносилан--аргон: временные характеристики импульсов
Зарвин А.Е.1, Коробейщиков Н.Г.1, Мадирбаев В.Ж.1, Шарафутдинов Р.Г.1
1Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Email: zarvin@phys.nsu.ru
Поступила в редакцию: 28 августа 2000 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2001 г.
Выполнено исследование конденсации смеси 5% SiH4+95%Ar в импульсных сверхзвуковых газовых потоках. Анализ временных характеристик, регистрируемых методом импульсной молекулярно-пучковой масс-спектрометрии, позволил определить последовательность протекания отдельных стадий процесса конденсации. Показано, что конденсация в импульсной струе аргон-моносилановой смеси приводит к селективному нагреву компонентов смеси, причем этот процесс зависит от плотности смеси в форкамере сопла.
- Шарафутдинов Р.Г., Зарвин А.Е., Коробейщиков Н.Г. и др. // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. Вып. 21. С. 48--51
- Зарвин А.Е., Коробейщиков Н.Г., Мадирбаев В.Ж. и др. // Письма в ЖТФ. Направлена в печать
- Sharafutdinov R.G., Skrinnikov A.V., Parakhnevich A.V. et al. // J. Appl. Phys. 1996. Vol. 79. N 9. P. 7274
- Hagena O.F. // Surf. Sci. 1981. Vol. 106. P. 101--116
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
