Аномальное поведение ионов мышьяка в кремнии, имплантируемых при 850oC
Демаков К.Д.1, Старостин В.А.1
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
Email: vastarostin@mail.ru
Поступила в редакцию: 3 мая 2000 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2001 г.
Получен профиль концентрации мышьяка в кремнии с двумя глубоко залегающими максимумами. Предложена модель процесса имплантации. Проведено сравнение с результатами других групп. Показана аналогия при миграции пар дефект-вакансия для случаев высокотемпературной и низкотемпературной имплантации (Ddv около 10-12 cm2/s).
- Гусев В.М., Бушаров Н.П., Нафтулин С.М., Проничев А.М. // ПТЭ. 1969. N 4. C. 19--25
- Cтаростин В.А. // ФиХОМ. 1999. N 5. C. 104--105
- Aleksandrov P.A., Baranova E.K., Beloshitsky V.V. et al. // Radiation Effects. 1985. Vol. 88. P. 249--255
- Fabian S., Kalbitzer S., Klatt Ch. et al. // Phys. Rev. B. 1998. Vol. 58. N 24. P. 16144--16153
- Ahlgren T., Vainonen E., Likonen J., Keinonen J. // Phys. Rev. B. 1998. Vol. 57. N 16. P. 9723--9726
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
